Отрывок:
Название : Разработка технологии глубокого жидкостного травления стеклянных подложек для изготовления устройств микрофлюидики
Авторы/Редакторы : Горовенко Т. А.
Агафонов А. Н.
Платонов В. И.
Министерство образования и науки Российской Федерации
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Институт электроники и приборостроения
Дата публикации : 2016
Библиографическое описание : Горовенко, Т. А. Разработка технологии глубокого жидкостного травления стеклянных подложек для изготовления устройств микрофлюидики : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Т. А. Горовенко ; рук. работы А. Н. Агафонов; рец. В. И. Платонов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т электроники и приборостроен. - Самара, 2016. - on-line
Аннотация : Цель работы - разработка технологии глубокого жидкостного травления стеклянных подложек для изготовления микрофлюидных устройств Исходя из представленной цели, были поставлены следующие задачи: 1. Изучение свойств материалов применяемых при изготовлении м
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20160912154315
Ключевые слова: очистка поверхности
предметное стекло
фотолитография
дефекты
изготовление микроканалов
глубокое жидкостное травление
герметизация микрочипов
стеклянные подложки
микрофлюидные устройства
микрофлюидные чипы
натриевые стекла
маскирование
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Горовенко_Тарас_Андреевич_Разработка_технологии_глубокого_жидкостного.pdf1.77 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.