Отрывок:
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorГоровенко Т. А.ru
dc.contributor.authorАгафонов А. Н.ru
dc.contributor.authorПлатонов В. И.ru
dc.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерацииru
dc.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)ru
dc.contributor.authorИнститут электроники и приборостроенияru
dc.coverage.spatialочистка поверхностиru
dc.coverage.spatialпредметное стеклоru
dc.coverage.spatialфотолитографияru
dc.coverage.spatialдефектыru
dc.coverage.spatialизготовление микроканаловru
dc.coverage.spatialглубокое жидкостное травлениеru
dc.coverage.spatialгерметизация микрочиповru
dc.coverage.spatialстеклянные подложкиru
dc.coverage.spatialмикрофлюидные устройстваru
dc.coverage.spatialмикрофлюидные чипыru
dc.coverage.spatialнатриевые стеклаru
dc.coverage.spatialмаскированиеru
dc.creatorГоровенко Т. А.ru
dc.date.issued2016ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20160912154315ru
dc.identifier.citationГоровенко, Т. А. Разработка технологии глубокого жидкостного травления стеклянных подложек для изготовления устройств микрофлюидики : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Т. А. Горовенко ; рук. работы А. Н. Агафонов; рец. В. И. Платонов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т электроники и приборостроен. - Самара, 2016. - on-lineru
dc.description.abstractЦель работы - разработка технологии глубокого жидкостного травления стеклянных подложек для изготовления микрофлюидных устройств Исходя из представленной цели, были поставлены следующие задачи: 1. Изучение свойств материалов применяемых при изготовлении мru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 1,7 Мб)ru
dc.titleРазработка технологии глубокого жидкостного травления стеклянных подложек для изготовления устройств микрофлюидикиru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti29.29ru
dc.subject.udc539.1ru
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Горовенко_Тарас_Андреевич_Разработка_технологии_глубокого_жидкостного.pdf1.77 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.