Отрывок: В данном методе электроды могут быть значительно массивнее и их можно расположить на гораздо меньших расстояниях. Данный метод целесообразен при измерении высоких значений удельного сопротивления, так как здесь менее существенны поверхностные утечки. Используется также для измерений удельного сопротивления высокоомных эпитаксиальных пленок на низкоомных подложках со структурами типа ...
Название : Разработка стенда для измерения электрического сопротивления тонких пленок 4-х электродным методом
Авторы/Редакторы : Хабло И. И.
Агафонов А. Н.
Латухина Н. В.
Министерство образования и науки Российской Федерации
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Институт информатики
математики и электроники
Дата публикации : 2017
Библиографическое описание : Хабло, И. И. Разработка стенда для измерения электрического сопротивления тонких пленок 4-х электродным методом : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / И. И. Хабло ; рук. работы А. Н. Агафонов; рец. Н. В. Латухина ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и элект. - Самара, 2017. - on-line
Аннотация : Целью работы - является разработка конструкции для измерения удельного электрического поверхностного сопротивления четырехэлектродным методом.В данной работе рассмотрены методы, способы и средства измерений удельного поверхностного сопротивления тонких пленок, разработано малогабаритное устройство с удовлетворительными погрешностями измерений. Проведен ряд экспериментов по измерению параметров тонких пленок различных металлов.
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20171214161402
Ключевые слова: измерительные стенды
толщина напыления
малогабаритные устройства
удельное сопротивление
удельное поверхностное сопротивление тонких пленок
четырехэлектродный метод
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Хабло_Игорь_Иванович_Разработка_стенда_измерения.pdf2.07 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.