Отрывок: В данном методе электроды могут быть значительно массивнее и их можно расположить на гораздо меньших расстояниях. Данный метод целесообразен при измерении высоких значений удельного сопротивления, так как здесь менее существенны поверхностные утечки. Используется также для измерений удельного сопротивления высокоомных эпитаксиальных пленок на низкоомных подложках со структурами типа ...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorХабло И. И.ru
dc.contributor.authorАгафонов А. Н.ru
dc.contributor.authorЛатухина Н. В.ru
dc.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерацииru
dc.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)ru
dc.contributor.authorИнститут информатикиru
dc.contributor.authorматематики и электроникиru
dc.coverage.spatialизмерительные стендыru
dc.coverage.spatialтолщина напыленияru
dc.coverage.spatialмалогабаритные устройстваru
dc.coverage.spatialудельное сопротивлениеru
dc.coverage.spatialудельное поверхностное сопротивление тонких пленокru
dc.coverage.spatialчетырехэлектродный методru
dc.creatorХабло И. И.ru
dc.date.issued2017ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20171214161402ru
dc.identifier.citationХабло, И. И. Разработка стенда для измерения электрического сопротивления тонких пленок 4-х электродным методом : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / И. И. Хабло ; рук. работы А. Н. Агафонов; рец. Н. В. Латухина ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и элект. - Самара, 2017. - on-lineru
dc.description.abstractЦелью работы - является разработка конструкции для измерения удельного электрического поверхностного сопротивления четырехэлектродным методом.В данной работе рассмотрены методы, способы и средства измерений удельного поверхностного сопротивления тонких пленок, разработано малогабаритное устройство с удовлетворительными погрешностями измерений. Проведен ряд экспериментов по измерению параметров тонких пленок различных металлов.ru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 2,0 Мб)ru
dc.titleРазработка стенда для измерения электрического сопротивления тонких пленок 4-х электродным методомru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti47.59.49ru
dc.subject.udc621.382ru
dc.textpartВ данном методе электроды могут быть значительно массивнее и их можно расположить на гораздо меньших расстояниях. Данный метод целесообразен при измерении высоких значений удельного сопротивления, так как здесь менее существенны поверхностные утечки. Используется также для измерений удельного сопротивления высокоомных эпитаксиальных пленок на низкоомных подложках со структурами типа ...-
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Хабло_Игорь_Иванович_Разработка_стенда_измерения.pdf2.07 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.