Отрывок: ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ 1. 1. Анализ литературы показал, что способы создания структур , основанные на соединении пластин, составляют основу технологии создания МЭМС. Такие способы позволяют добиться более высоких параметров и открывают перспективы создания принципиально новых конструкций. Одним из наиболее перспективных является низкотемпературное анодное сращивание, которое дает возможность сращивания различных материалов (например, кремния...
Название : Разработка лабораторной установки для соединения поверхностей методом анодного сращивания
Авторы/Редакторы : Шульга В. В.
Агафонов А. Н.
Платонов В. И.
Министерство образования и науки Российской Федерации
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Институт электроники и приборостроения
Дата публикации : 2017
Библиографическое описание : Шульга, В. В. Разработка лабораторной установки для соединения поверхностей методом анодного сращивания : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / В. В. Шульга ; рук. работы А. Н. Агафонов; рец. В. И. Платонов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т электроники и приборостроения,. - Самара, 2017. - on-line
Аннотация : Цель работы - исследование процесса анодного сращивания натриевых и боросиликатных стекол с слоями металлизации, в присутствии электрического поля. Исходя из представленной цели, были поставлены следующие задачи: 1. Обзор существующих методов соединения поверхностей для микрофлюидики и МЭМС; 2. Изучение метода анодного сращивания; 3. Экспериментальное исследование режимов анодного сращивания и влияния различных характеристик; 4. Разработка методики анодного сращивания
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20171214150950
Ключевые слова: сращивание
соединение поверхностей
боросиликатное стекло
лабораторные установки
герметизация
микрофлюидика
металлизация
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы




Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.