Отрывок: ВЫВОДЫ К ГЛАВЕ 1. 1. Анализ литературы показал, что способы создания структур , основанные на соединении пластин, составляют основу технологии создания МЭМС. Такие способы позволяют добиться более высоких параметров и открывают перспективы создания принципиально новых конструкций. Одним из наиболее перспективных является низкотемпературное анодное сращивание, которое дает возможность сращивания различных материалов (например, кремния...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorШульга В. В.ru
dc.contributor.authorАгафонов А. Н.ru
dc.contributor.authorПлатонов В. И.ru
dc.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерацииru
dc.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)ru
dc.contributor.authorИнститут электроники и приборостроенияru
dc.coverage.spatialсращиваниеru
dc.coverage.spatialсоединение поверхностейru
dc.coverage.spatialборосиликатное стеклоru
dc.coverage.spatialлабораторные установкиru
dc.coverage.spatialгерметизацияru
dc.coverage.spatialмикрофлюидикаru
dc.coverage.spatialметаллизацияru
dc.creatorШульга В. В.ru
dc.date.issued2017ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20171214150950ru
dc.identifier.citationШульга, В. В. Разработка лабораторной установки для соединения поверхностей методом анодного сращивания : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / В. В. Шульга ; рук. работы А. Н. Агафонов; рец. В. И. Платонов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т электроники и приборостроения,. - Самара, 2017. - on-lineru
dc.description.abstractЦель работы - исследование процесса анодного сращивания натриевых и боросиликатных стекол с слоями металлизации, в присутствии электрического поля. Исходя из представленной цели, были поставлены следующие задачи: 1. Обзор существующих методов соединения поверхностей для микрофлюидики и МЭМС; 2. Изучение метода анодного сращивания; 3. Экспериментальное исследование режимов анодного сращивания и влияния различных характеристик; 4. Разработка методики анодного сращиванияru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 1,2 Мб)ru
dc.titleРазработка лабораторной установки для соединения поверхностей методом анодного сращиванияru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti34.05ru
dc.subject.udc543ru
dc.textpartВЫВОДЫ К ГЛАВЕ 1. 1. Анализ литературы показал, что способы создания структур , основанные на соединении пластин, составляют основу технологии создания МЭМС. Такие способы позволяют добиться более высоких параметров и открывают перспективы создания принципиально новых конструкций. Одним из наиболее перспективных является низкотемпературное анодное сращивание, которое дает возможность сращивания различных материалов (например, кремния...-
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Шульга_Василий_Викторович_Разработка_лабораторной_установки.pdf1.24 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.