Отрывок: Данные, полученные в результате эксперимента по определению зависимости сопротивления хромовых плёнок от толщины слоя и изменения температуры, представлены в таблице 1 и на рисунке 9. Таблица 1 – Значения сопротивления резисторов, при изменении температуры Температура, °C Сопротивления плёнки толщиной 40 нм, Ом Сопротивления плёнки толщиной 30 нм, Ом Сопротивления плёнки толщиной 20 нм, Ом Сопротивления плёнки т...
Название : Разработка газовых микросенсоров на чиповой основе
Авторы/Редакторы : Якуненков Р. Е.
Платонов В. И.
Министерство образования и науки Российской Федерации
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Институт ракетно-космической техники
Дата публикации : 2017
Библиографическое описание : Якуненков, Р. Е. Разработка газовых микросенсоров на чиповой основе : вып. квалификац. работа по спец. "Наноинженерия" / Р. Е. Якуненков ; рук. работы В. И. Платонов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т ракет.-косм. техники, Каф. химии. - Самара, 2017. - on-line
Аннотация : Целью выпускной квалификационной работы бакалавра является разработка газовых микросенсоров на чиповой основе для газовой хроматографии. Исходя из поставленной цели, были поставлены следующие задачи: 1) Разработка метода изготовления планарных резисторов с помощью УФ-литографии на базе металлических пленок, нанесенных методом магнетронного напыления; 2) Определение оптимальной толщины резистивной пленки металла, для получения наибольшего температурного коэффициента сопротивления; 3) Разработка методики нанесения каталитического слоя платины на планарный резистор; 4) Определение зависимости сопротивления планарных резисторов от их геометрии; 5) Проектирование и изготовление корпуса для чувствительных элементов газовых микросенсоров; 6) Определение основных метрологических характеристик газовых микросенсоров в системе портативного микрохроматографа «ПИА».
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20170616154902
Ключевые слова: магнетроны
чувствительные элементы
детекторы
микросенсоры
микроэлектромеханические системы (МЭМС)
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Якуненков_Роман_Евгеньевич_Разработка_газовых_микросенсоров.pdf2.87 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.