Отрывок: Данные, полученные в результате эксперимента по определению зависимости сопротивления хромовых плёнок от толщины слоя и изменения температуры, представлены в таблице 1 и на рисунке 9. Таблица 1 – Значения сопротивления резисторов, при изменении температуры Температура, °C Сопротивления плёнки толщиной 40 нм, Ом Сопротивления плёнки толщиной 30 нм, Ом Сопротивления плёнки толщиной 20 нм, Ом Сопротивления плёнки т...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorЯкуненков Р. Е.ru
dc.contributor.authorПлатонов В. И.ru
dc.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерацииru
dc.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)ru
dc.contributor.authorИнститут ракетно-космической техникиru
dc.coverage.spatialмагнетроныru
dc.coverage.spatialчувствительные элементыru
dc.coverage.spatialдетекторыru
dc.coverage.spatialмикросенсорыru
dc.coverage.spatialмикроэлектромеханические системы (МЭМС)ru
dc.creatorЯкуненков Р. Е.ru
dc.date.issued2017ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20170616154902ru
dc.identifier.citationЯкуненков, Р. Е. Разработка газовых микросенсоров на чиповой основе : вып. квалификац. работа по спец. "Наноинженерия" / Р. Е. Якуненков ; рук. работы В. И. Платонов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т ракет.-косм. техники, Каф. химии. - Самара, 2017. - on-lineru
dc.description.abstractЦелью выпускной квалификационной работы бакалавра является разработка газовых микросенсоров на чиповой основе для газовой хроматографии. Исходя из поставленной цели, были поставлены следующие задачи: 1) Разработка метода изготовления планарных резисторов с помощью УФ-литографии на базе металлических пленок, нанесенных методом магнетронного напыления; 2) Определение оптимальной толщины резистивной пленки металла, для получения наибольшего температурного коэффициента сопротивления; 3) Разработка методики нанесения каталитического слоя платины на планарный резистор; 4) Определение зависимости сопротивления планарных резисторов от их геометрии; 5) Проектирование и изготовление корпуса для чувствительных элементов газовых микросенсоров; 6) Определение основных метрологических характеристик газовых микросенсоров в системе портативного микрохроматографа «ПИА».ru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 2,8 Мб)ru
dc.titleРазработка газовых микросенсоров на чиповой основеru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti31.15.35ru
dc.subject.udc543.544ru
dc.textpartДанные, полученные в результате эксперимента по определению зависимости сопротивления хромовых плёнок от толщины слоя и изменения температуры, представлены в таблице 1 и на рисунке 9. Таблица 1 – Значения сопротивления резисторов, при изменении температуры Температура, °C Сопротивления плёнки толщиной 40 нм, Ом Сопротивления плёнки толщиной 30 нм, Ом Сопротивления плёнки толщиной 20 нм, Ом Сопротивления плёнки т...-
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Якуненков_Роман_Евгеньевич_Разработка_газовых_микросенсоров.pdf2.87 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.