Отрывок: Вероятность выхода молекулы из потенциальной ямы на поверхности тела за один период колебаний равна         пB дес дес Tk E w exp , (57) где Eдес – энергия активации десорбции; Tп – температура подложки. Выражение (57) связывает параметры ВКА wдес и  с температурой подложки Tп и параметрами системы “пар-поверхность” Eдес и 0. 35 3.3.2 Вероятности процесса диффузии. Вероятность частицы за о...
Название : Моделирование процесса осаждения тонких металлических пленок на диэлектрическое основание : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника"
Авторы/Редакторы : Егоров Е. В.
Архипов А. В.
Лофицкий И. В.
Министерство образования и науки Российской Федерации
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Институт электроники и приборостроения
Дата публикации : 2016
Библиографическое описание : Егоров, Е. В. Моделирование процесса осаждения тонких металлических пленок на диэлектрическое основание : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Е. В. Егоров ; рук. работы А. В. Архипов; рец. И. В. Лофицкий, к. К. доцент ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т электроники и при. - Самара, 2016. - on-line
Аннотация : В работе рассматривается компьютерное моделирование управляемого технологического процесса роста тонких пленок алюминия, заданной структуры, на диэлектрической подложке. Показана целесообразность использования метода вероятностного клеточного автомата для
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : http://repo.ssau.ru/handle/VKR/Modelirovanie-processa-osazhdeniya-tonkih-metallicheskih-plenok-na-dielektricheskoe-osnovanie-vyp-kvalifikac-rabota-po-spec-Elektronika-i-nanoelektronika-59095
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20160914145141
Ключевые слова: вероятностный клеточный автомат (ВКА)
диэлектрическое основание
компьютерное моделирование
осаждение тонких металлических пленок
рост тонких пленок
технологические процессы
Располагается в коллекциях: ВКР




Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.