Отрывок:
Название : | Моделирование процесса осаждения тонких металлических пленок на диэлектрическое основание |
Авторы/Редакторы : | Егоров Е.В. Архипов А. В. Лофицкий И. В. Министерство образования и науки Российской Федерации Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) Институт электроники и приборостроения |
Дата публикации : | 2016 |
Библиографическое описание : | Егоров, Е.В. Моделирование процесса осаждения тонких металлических пленок на диэлектрическое основание : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Е. В. Егоров ; рук. работы А. В. Архипов; рец. И. В. Лофицкий ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т электроники и приборостроения,. - Самара, 2016. - on-line |
Аннотация : | В работе рассматривается компьютерное моделирование управляемого технологического процесса роста тонких пленок алюминия, заданной структуры, на диэлектрической подложке. Показана целесообразность использования метода вероятностного клеточного автомата для моделирования.Оценены вероятности протекания элементарных физико-химических процессов. Разработана физическая модель роста и описаны основные механизмы процесса формирования тонких пленок алюминия. Разработаны некоторые программные продукты, описывающие процесс роста тонкопленочной металлизации интегральных микросхем в условиях стандартного процесса осаждения с использованием метода вероятностного клеточного автомата. |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\ВКР20160914145141 |
Ключевые слова: | технологические процессы осаждение тонких металлических пленок компьютерное моделирование диэлектрическое основание вероятностный клеточный автомат (ВКА) рост тонких пленок |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Егоров_Евгений_Викторович_Моделирование_процесса_осаждения_тонких.pdf | 855.25 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.