Отрывок:
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Егоров Е.В. | ru |
dc.contributor.author | Архипов А. В. | ru |
dc.contributor.author | Лофицкий И. В. | ru |
dc.contributor.author | Министерство образования и науки Российской Федерации | ru |
dc.contributor.author | Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет) | ru |
dc.contributor.author | Институт электроники и приборостроения | ru |
dc.coverage.spatial | технологические процессы | ru |
dc.coverage.spatial | осаждение тонких металлических пленок | ru |
dc.coverage.spatial | компьютерное моделирование | ru |
dc.coverage.spatial | диэлектрическое основание | ru |
dc.coverage.spatial | вероятностный клеточный автомат (ВКА) | ru |
dc.coverage.spatial | рост тонких пленок | ru |
dc.creator | Егоров Е.В. | ru |
dc.date.issued | 2016 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\ВКР20160914145141 | ru |
dc.identifier.citation | Егоров, Е.В. Моделирование процесса осаждения тонких металлических пленок на диэлектрическое основание : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Е. В. Егоров ; рук. работы А. В. Архипов; рец. И. В. Лофицкий ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т электроники и приборостроения,. - Самара, 2016. - on-line | ru |
dc.description.abstract | В работе рассматривается компьютерное моделирование управляемого технологического процесса роста тонких пленок алюминия, заданной структуры, на диэлектрической подложке. Показана целесообразность использования метода вероятностного клеточного автомата для моделирования.Оценены вероятности протекания элементарных физико-химических процессов. Разработана физическая модель роста и описаны основные механизмы процесса формирования тонких пленок алюминия. Разработаны некоторые программные продукты, описывающие процесс роста тонкопленочной металлизации интегральных микросхем в условиях стандартного процесса осаждения с использованием метода вероятностного клеточного автомата. | ru |
dc.format.extent | Электрон. дан. (1 файл : 0,8 Мб) | ru |
dc.title | Моделирование процесса осаждения тонких металлических пленок на диэлектрическое основание | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.subject.rugasnti | 29.29 | ru |
dc.subject.rugasnti | 50.01 | ru |
dc.subject.udc | 539.1 | ru |
dc.subject.udc | 004.4 | ru |
Располагается в коллекциях: | Выпускные квалификационные работы |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Егоров_Евгений_Викторович_Моделирование_процесса_осаждения_тонких.pdf | 855.25 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.