Отрывок: Рисунок 17 – Виды плазменного травления Ионное травление – это такое травление, при котором для удаления поверхностных слоёв материала (металл, полупроводник, диэлектрик и даже органические вещества) используется кинетическая энергия ионов газа [6]. В качестве рабочего газа обычно используют инертные газы. Подложка подвергается бомбардировке ионами газа с энергией более 500 эВ. Различают объёмно-плазменное (ионно-плазменно...
Название : Изготовление с помощью технологии литографии и экспериментальное исследование характеристик дифракционной решетки для гиперспектрометра
Авторы/Редакторы : Антонова В. А.
Харитонов С. И.
Нефедова С. А.
Министерство образования и науки Российской Федерации
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Институт информатики
математики и электроники
Дата публикации : 2017
Библиографическое описание : Антонова, В. А. Изготовление с помощью технологии литографии и экспериментальное исследование характеристик дифракционной решетки для гиперспектрометра : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / В. А. Антонова ; рук. работы С. И. Харитонов; рец. С. А. Нефедова ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и э. - Самара, 2017. - on-line
Аннотация : Объектом изготовления и исследования является дифракционная решетка, работающая в ИК-диапазоне спектра. Цель: изготовить дифракционную решетку для гиперспектрометра с помощью стандартных методов микро- и нанотехнологий и исследовать ее характеристики. В д
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20171215144643
Ключевые слова: интерферометр
экспонирование
плазмохимическое травление
оптические установки
гиперспектрометры
высота микрорельефа
вычислительный эксперимент
фотолитография
фотошаблоны
дифракционные решетки
дифракционные оптические элементы
распределение интенсивности
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Антонова_Виктория_Александровна_Изготовление_помощью_технологии.pdf3.83 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.