Отрывок: Рисунок 17 – Виды плазменного травления Ионное травление – это такое травление, при котором для удаления поверхностных слоёв материала (металл, полупроводник, диэлектрик и даже органические вещества) используется кинетическая энергия ионов газа [6]. В качестве рабочего газа обычно используют инертные газы. Подложка подвергается бомбардировке ионами газа с энергией более 500 эВ. Различают объёмно-плазменное (ионно-плазменно...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorАнтонова В. А.ru
dc.contributor.authorХаритонов С. И.ru
dc.contributor.authorНефедова С. А.ru
dc.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерацииru
dc.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)ru
dc.contributor.authorИнститут информатикиru
dc.contributor.authorматематики и электроникиru
dc.coverage.spatialинтерферометрru
dc.coverage.spatialэкспонированиеru
dc.coverage.spatialплазмохимическое травлениеru
dc.coverage.spatialоптические установкиru
dc.coverage.spatialгиперспектрометрыru
dc.coverage.spatialвысота микрорельефаru
dc.coverage.spatialвычислительный экспериментru
dc.coverage.spatialфотолитографияru
dc.coverage.spatialфотошаблоныru
dc.coverage.spatialдифракционные решеткиru
dc.coverage.spatialдифракционные оптические элементыru
dc.coverage.spatialраспределение интенсивностиru
dc.creatorАнтонова В. А.ru
dc.date.issued2017ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20171215144643ru
dc.identifier.citationАнтонова, В. А. Изготовление с помощью технологии литографии и экспериментальное исследование характеристик дифракционной решетки для гиперспектрометра : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / В. А. Антонова ; рук. работы С. И. Харитонов; рец. С. А. Нефедова ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и э. - Самара, 2017. - on-lineru
dc.description.abstractОбъектом изготовления и исследования является дифракционная решетка, работающая в ИК-диапазоне спектра. Цель: изготовить дифракционную решетку для гиперспектрометра с помощью стандартных методов микро- и нанотехнологий и исследовать ее характеристики. В дru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 3,7 Мб)ru
dc.titleИзготовление с помощью технологии литографии и экспериментальное исследование характеристик дифракционной решетки для гиперспектрометраru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti29.31ru
dc.subject.udc535.42ru
dc.textpartРисунок 17 – Виды плазменного травления Ионное травление – это такое травление, при котором для удаления поверхностных слоёв материала (металл, полупроводник, диэлектрик и даже органические вещества) используется кинетическая энергия ионов газа [6]. В качестве рабочего газа обычно используют инертные газы. Подложка подвергается бомбардировке ионами газа с энергией более 500 эВ. Различают объёмно-плазменное (ионно-плазменно...-
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Антонова_Виктория_Александровна_Изготовление_помощью_технологии.pdf3.83 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.