Отрывок: Волновая природа электронного пучка сильно проявляет себя при чрезвычайно малых размерах рисунка. Это следует учитывать при проектировании ДОЭ видимого и УД диапазона. 3. Ограничения, обусловленные аберрацией фокусирующей системы. Аберрация фокусирующих электронно-оптических систем присуща всем электронно-лучевым методам. 4. Ограничения, обусловленные системой управления отклонения пучка. 21 ЭЛЛ может быть сканирующей и проекционной. Сканирующая м...
Название : Изготовление с помощью технологии литографии и экспериментальное исследование характеристик дифракционной линзы
Авторы/Редакторы : Гафуров Р. И.
Харитонов С. И.
Нефедов С. А.
Министерство образования и науки Российской Федерации
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Дата публикации : 2017
Библиографическое описание : Гафуров, Р. И. Изготовление с помощью технологии литографии и экспериментальное исследование характеристик дифракционной линзы : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Р. И. Гафуров ; рук. работы С. И. Харитонов; рец. С. А. Нефедов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Фак-т электроники и приборостроени. - Самара, 2017. - on-line
Аннотация : Объектом исследования является отражающая дифракционная линза с фокусом в точку, изготовленная методами микро- и наноэлектроники. Цель работы – изготовление и исследование дифракционной линзы в среднем ик-диапазоне. В работе рассмотрен алгоритм расчета фо
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20171214150724
Ключевые слова: эйкональная функция
дифракционные оптические элементы
дифракционные линзы
микрорельеф
травление
распределение интенсивности
коллиматор
литография
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Гафуров_Рустам_Идибекович_Изготовление_помощью_технологии.pdf1.79 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.