Отрывок: Волновая природа электронного пучка сильно проявляет себя при чрезвычайно малых размерах рисунка. Это следует учитывать при проектировании ДОЭ видимого и УД диапазона. 3. Ограничения, обусловленные аберрацией фокусирующей системы. Аберрация фокусирующих электронно-оптических систем присуща всем электронно-лучевым методам. 4. Ограничения, обусловленные системой управления отклонения пучка. 21 ЭЛЛ может быть сканирующей и проекционной. Сканирующая м...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorГафуров Р. И.ru
dc.contributor.authorХаритонов С. И.ru
dc.contributor.authorНефедов С. А.ru
dc.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерацииru
dc.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)ru
dc.coverage.spatialэйкональная функцияru
dc.coverage.spatialдифракционные оптические элементыru
dc.coverage.spatialдифракционные линзыru
dc.coverage.spatialмикрорельефru
dc.coverage.spatialтравлениеru
dc.coverage.spatialраспределение интенсивностиru
dc.coverage.spatialколлиматорru
dc.coverage.spatialлитографияru
dc.creatorГафуров Р. И.ru
dc.date.issued2017ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20171214150724ru
dc.identifier.citationГафуров, Р. И. Изготовление с помощью технологии литографии и экспериментальное исследование характеристик дифракционной линзы : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Р. И. Гафуров ; рук. работы С. И. Харитонов; рец. С. А. Нефедов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Фак-т электроники и приборостроени. - Самара, 2017. - on-lineru
dc.description.abstractОбъектом исследования является отражающая дифракционная линза с фокусом в точку, изготовленная методами микро- и наноэлектроники. Цель работы – изготовление и исследование дифракционной линзы в среднем ик-диапазоне. В работе рассмотрен алгоритм расчета фоru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 1,8 Мб)ru
dc.titleИзготовление с помощью технологии литографии и экспериментальное исследование характеристик дифракционной линзыru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti29.31ru
dc.subject.udc535.42ru
dc.textpartВолновая природа электронного пучка сильно проявляет себя при чрезвычайно малых размерах рисунка. Это следует учитывать при проектировании ДОЭ видимого и УД диапазона. 3. Ограничения, обусловленные аберрацией фокусирующей системы. Аберрация фокусирующих электронно-оптических систем присуща всем электронно-лучевым методам. 4. Ограничения, обусловленные системой управления отклонения пучка. 21 ЭЛЛ может быть сканирующей и проекционной. Сканирующая м...-
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Гафуров_Рустам_Идибекович_Изготовление_помощью_технологии.pdf1.79 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.