Отрывок: Волновая природа электронного пучка сильно проявляет себя при чрезвычайно малых размерах рисунка. Это следует учитывать при проектировании ДОЭ видимого и УД диапазона. 3. Ограничения, обусловленные аберрацией фокусирующей системы. Аберрация фокусирующих электронно-оптических систем присуща всем электронно-лучевым методам. 4. Ограничения, обусловленные системой управления отклонения пучка. 21 ЭЛЛ может быть сканирующей и проекционной. Сканирующая м...
Название : Изготовление с помощью технологии литографии и экспериментальное исследование характеристик дифракционной линзы : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника"
Авторы/Редакторы : Гафуров Р. И.
Харитонов С. И.
Нефедов С. А.
Министерство образования и науки Российской Федерации
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Дата публикации : 2017
Библиографическое описание : Гафуров, Р. И. Изготовление с помощью технологии литографии и экспериментальное исследование характеристик дифракционной линзы : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / Р. И. Гафуров ; рук. работы С. И. Харитонов; рец. С. А. Нефедов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Фак-т электроники и приборостроени. - Самара, 2017. - on-line
Аннотация : Объектом исследования является отражающая дифракционная линза с фокусом в точку, изготовленная методами микро- и наноэлектроники. Цель работы – изготовление и исследование дифракционной линзы в среднем ик-диапазоне. В работе рассмотрен алгоритм расчета фо
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : http://repo.ssau.ru/handle/VKR/Izgotovlenie-s-pomoshu-tehnologii-litografii-i-eksperimentalnoe-issledovanie-harakteristik-difrakcionnoi-linzy-vyp-kvalifikac-rabota-po-spec-Elektronika-i-nanoelektronika-69352
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20171214150724
Ключевые слова: дифракционные линзы
дифракционные оптические элементы
коллиматор
литография
микрорельеф
распределение интенсивности
травление
эйкональная функция
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы




Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.