Отрывок: Следующее устройство, построенное с применением МЭМС технологий, это МЭМС-транспортер, состоящий из массива микроскопических ресничек. Реснички упругие и в «выключенном» состоянии они отогнуты от основания. Чтобы притянуть их к подложке, используется электростатическое притяжение, по такому же принципу как в DMD – чипах. Также в эти подвижные микроэлементы встроен терморезистор, за счет нагрева изменяющий упругость реснич...
Название : Изготовление МЕМС структур в объеме кремниевой пластины
Авторы/Редакторы : Пунин К. В.
Володкин Б. О.
Братченко И. А.
Министерство образования и науки Российской Федерации
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Дата публикации : 2017
Библиографическое описание : Пунин, К. В. Изготовление МЕМС структур в объеме кремниевой пластины : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / К. В. Пунин ; рук. работы Б. О. Володкин; рец. И. А. Братченко ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Фак-т электроники и приборостроения. - Самара, 2017. - on-line
Аннотация : Цель работы – исследование существующих методов травления кремния и травление кремниевой пластины для создания МЭМС устройства.Исходя из представленной цели, были поставлены следующие задачи: 1. Провести анализ литературы по существующим методам получения МЭМС структур.2.Осуществить подбор технологических параметров процесса плазмохимического травления для получения МЭМС структур заданной топологии.3. Проведение эксперимента травления кремниевой пластины с помощью Bosch процесса.
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20171214154724
Ключевые слова: плазмохимическое травление
анизотропное травление кремнием
кремниевые пластины
BOSCH процессы
МЕМС структуры
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Пунин_Кирилл_Владимирович_Изготовление_МЕМС_структур.pdf2.35 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.