Отрывок: Следующее устройство, построенное с применением МЭМС технологий, это МЭМС-транспортер, состоящий из массива микроскопических ресничек. Реснички упругие и в «выключенном» состоянии они отогнуты от основания. Чтобы притянуть их к подложке, используется электростатическое притяжение, по такому же принципу как в DMD – чипах. Также в эти подвижные микроэлементы встроен терморезистор, за счет нагрева изменяющий упругость реснич...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorПунин К. В.ru
dc.contributor.authorВолодкин Б. О.ru
dc.contributor.authorБратченко И. А.ru
dc.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерацииru
dc.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)ru
dc.coverage.spatialплазмохимическое травлениеru
dc.coverage.spatialанизотропное травление кремниемru
dc.coverage.spatialкремниевые пластиныru
dc.coverage.spatialBOSCH процессыru
dc.coverage.spatialМЕМС структурыru
dc.creatorПунин К. В.ru
dc.date.issued2017ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20171214154724ru
dc.identifier.citationПунин, К. В. Изготовление МЕМС структур в объеме кремниевой пластины : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / К. В. Пунин ; рук. работы Б. О. Володкин; рец. И. А. Братченко ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Фак-т электроники и приборостроения. - Самара, 2017. - on-lineru
dc.description.abstractЦель работы – исследование существующих методов травления кремния и травление кремниевой пластины для создания МЭМС устройства.Исходя из представленной цели, были поставлены следующие задачи: 1. Провести анализ литературы по существующим методам получения МЭМС структур.2.Осуществить подбор технологических параметров процесса плазмохимического травления для получения МЭМС структур заданной топологии.3. Проведение эксперимента травления кремниевой пластины с помощью Bosch процесса.ru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 2,3 Мб)ru
dc.titleИзготовление МЕМС структур в объеме кремниевой пластиныru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti47.59.49ru
dc.subject.udc621.382ru
dc.textpartСледующее устройство, построенное с применением МЭМС технологий, это МЭМС-транспортер, состоящий из массива микроскопических ресничек. Реснички упругие и в «выключенном» состоянии они отогнуты от основания. Чтобы притянуть их к подложке, используется электростатическое притяжение, по такому же принципу как в DMD – чипах. Также в эти подвижные микроэлементы встроен терморезистор, за счет нагрева изменяющий упругость реснич...-
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Пунин_Кирилл_Владимирович_Изготовление_МЕМС_структур.pdf2.35 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.