Отрывок: Эти частицы будут огибать экран из- за столкновений между собой и с молекулами газа, заполняющего герметичную камеру. Чтобы повысить эффективность метода, а именно повысить эффективность рассеяния потока атомов в теневую заэкранную область, используется инертный газ – аргон. С помощью этого метода можно получить пленки толщиной до 0.5 нм. Лазерное напыление один из самых технологичных методов, позволяющи...
Название : Исследование технологии нанесения тонких пленок оксида индия и олова (ITO)
Авторы/Редакторы : Мокшин П. В.
Володкин Б. О.
Братченко И. А.
Министерство образования и науки Российской Федерации
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Институт информатики
математики и электроники
Дата публикации : 2017
Библиографическое описание : Мокшин, П. В. Исследование технологии нанесения тонких пленок оксида индия и олова (ITO) : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / П. В. Мокшин ; рук. работы Б. О. Володкин; рец. И. А. Братченко ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и эле. - Самара, 2017. - on-line
Аннотация : В данной работе рассматриваются вопросы, связанные с напылением тонких проводящих пленок на подложки.Цель работы – оценить выходные электрические параметры образцов, полученных с помощью магнетронного напыления оксида индия и олова (ИТО) на стеклянные подложки.В работе проведен анализ современных методов нанесения прозрачных проводящих покрытий. Рассмотрены преимущества и недостатки таких методов как: катодное распыление, жидкофазная эпитаксия, резистивное испарение, электрохимическое испарение, лазерное распыление, индукционное распыление, ионно-плазменное распыление, магнетронное распыление. Сделан вывод о целесообразности использования магнетронного распыления мишени индий-олова в атмосфере кислорода, для получения прозрачный проводящих покрытий оксида индий-олова. Отработаны режимы магнетронного распыления для получения покрытий с минимальным сопротивлением.
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20180522104101
Ключевые слова: запрещенная зона
оксид индия олова
оптоэлектроника
тонкие пленки оксида индия и олова (ITO)
стехиометрия
магнетронное напыление
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Мокшин_Павел_Валериевич_Исследование_технологии_нанесения_тонких.pdf1.16 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.