Отрывок: Эти частицы будут огибать экран из- за столкновений между собой и с молекулами газа, заполняющего герметичную камеру. Чтобы повысить эффективность метода, а именно повысить эффективность рассеяния потока атомов в теневую заэкранную область, используется инертный газ – аргон. С помощью этого метода можно получить пленки толщиной до 0.5 нм. Лазерное напыление один из самых технологичных методов, позволяющи...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorМокшин П. В.ru
dc.contributor.authorВолодкин Б. О.ru
dc.contributor.authorБратченко И. А.ru
dc.contributor.authorМинистерство образования и науки Российской Федерацииru
dc.contributor.authorСамарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)ru
dc.contributor.authorИнститут информатикиru
dc.contributor.authorматематики и электроникиru
dc.coverage.spatialзапрещенная зонаru
dc.coverage.spatialоксид индия оловаru
dc.coverage.spatialоптоэлектроникаru
dc.coverage.spatialтонкие пленки оксида индия и олова (ITO)ru
dc.coverage.spatialстехиометрияru
dc.coverage.spatialмагнетронное напылениеru
dc.creatorМокшин П. В.ru
dc.date.issued2017ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\ВКР20180522104101ru
dc.identifier.citationМокшин, П. В. Исследование технологии нанесения тонких пленок оксида индия и олова (ITO) : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / П. В. Мокшин ; рук. работы Б. О. Володкин; рец. И. А. Братченко ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и эле. - Самара, 2017. - on-lineru
dc.description.abstractВ данной работе рассматриваются вопросы, связанные с напылением тонких проводящих пленок на подложки.Цель работы – оценить выходные электрические параметры образцов, полученных с помощью магнетронного напыления оксида индия и олова (ИТО) на стеклянные подложки.В работе проведен анализ современных методов нанесения прозрачных проводящих покрытий. Рассмотрены преимущества и недостатки таких методов как: катодное распыление, жидкофазная эпитаксия, резистивное испарение, электрохимическое испарение, лазерное распыление, индукционное распыление, ионно-плазменное распыление, магнетронное распыление. Сделан вывод о целесообразности использования магнетронного распыления мишени индий-олова в атмосфере кислорода, для получения прозрачный проводящих покрытий оксида индий-олова. Отработаны режимы магнетронного распыления для получения покрытий с минимальным сопротивлением.ru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 1,1 Мб)ru
dc.titleИсследование технологии нанесения тонких пленок оксида индия и олова (ITO)ru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti55.22ru
dc.subject.udc621.793.7ru
dc.textpartЭти частицы будут огибать экран из- за столкновений между собой и с молекулами газа, заполняющего герметичную камеру. Чтобы повысить эффективность метода, а именно повысить эффективность рассеяния потока атомов в теневую заэкранную область, используется инертный газ – аргон. С помощью этого метода можно получить пленки толщиной до 0.5 нм. Лазерное напыление один из самых технологичных методов, позволяющи...-
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Мокшин_Павел_Валериевич_Исследование_технологии_нанесения_тонких.pdf1.16 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.