Отрывок: Этот механизм позволяет добиться увеличения селективности плазмохимического травления [10]. Анизотропия плазмохимического травления зависит от совокупности технологических факторов и может изменяться в значительных пределах. Основным фактором, влияющим на анизотропию ПХТ, является ионная бомбардировка. Ионы движутся перпендикулярно подложке и преимущественно воздействуют на дно структуры, их воздействие на боковые стенки минимально. Ионы...
Название : Глубокое анизотропное плазмохимическое травление кремниевой подложки
Авторы/Редакторы : Шурупова А. С.
Володкин Б. О.
Братченко И. А.
Министерство образования и науки Российской Федерации
Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет)
Институт информатики
математики и электроники
Дата публикации : 2017
Библиографическое описание : Шурупова, А. С. Глубокое анизотропное плазмохимическое травление кремниевой подложки : вып. квалификац. работа по спец. "Электроника и наноэлектроника" / А. С. Шурупова ; рук. работы Б. О. Володкин; рец. И. А. Братченко ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т), Ин-т информатики, математики и э. - Самара, 2017. - on-line
Аннотация : В данной работе разбираются вопросы, связанные с методамианизотропного плазмохимического травления.Цель работы – разработка методов глубокого анизотропного травлениякремния.Задачи:1) Провести анализ существующих методов глубокого анизотропноготравления кремния.2) Разработать метод глубокого анизотропного травления кремния спомощью плазмохимического травления в газах C4F8 / SF6.3) Оптимизация параметров плазмохимического травления кремниядля получения необходимых параметров процесса: скорости травления,вертикальности стенок и латерального разрешения.
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\ВКР20171214160804
Ключевые слова: индуктивно-связанная плазма
подбор параметров
анизотропное плазмохимическое травление
BOSCH процессы
Располагается в коллекциях: Выпускные квалификационные работы

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Шурупова_Александра_Сергеевна_Глубокое_анизатропное_плазмохическое_травление.pdf2.43 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.