Отрывок: 1. а – зависимость скорости травления кремния (1), двуокиси (2) и нитрида кремния (3), фоторезиста AZ-1350j (4) в плазме 4CF от электрической мощности, выделяемой на подложке; б – зависимость скорости травления кремния (1), двуокиси кремния (2) от мощности, вкладываемой в разряд. Плазма оказывается обогащенной атомарным хлором и фтором. Аналогичные зависимости скорости травления наблюдаются при ПХТ других материалов. Обработка ионами подложки, разм...
Название : | Исследование технологических режимов плазменного ионно-химического травления на установке "Caroline PE15" |
Авторы/Редакторы : | Волков А. В. Министерство образования и науки Российской Федерации Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева (национальный исследовательский университет) (СГАУ) |
Дата публикации : | 2013 |
Библиографическое описание : | Волков, А. В. Исследование технологических режимов плазменного ионно-химического травления на установке "Caroline PE15" [Электронный ресурс] : электрон. учеб.-метод. пособие / А. В. Волков ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева (нац. исслед. ун-т) (СГАУ). - Самара, 2013. - on-line |
Аннотация : | Используемые программы: Adobe Acrobat. Труды сотрудников СГАУ(электрон. версия). Рассмотрены вопросы исследования и выбора технологических режимов плазменного ионно-химического травления при использовании установки “Caroline PE15”. Электронное учебно-методическое пособие предназначено для подготовки магистров направления 010900.68 «Пр |
Другие идентификаторы : | RU/НТБ СГАУ/WALL/621.792/В 676-185068 |
Ключевые слова: | плазменое травление |
Располагается в коллекциях: | Учебные издания |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Волков А.В. Исследование технологических.pdf | from 1C | 2.61 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.