Отрывок: Необходимо отметить широкое распространение технологий прямой записи при создании малых серий устройств микросистемной техники (или уникальных устройств), в то время как технологии литографии изначально ориентированы на серийное производство. Работа выполнена при поддержке гранта РФФИ 19-07-00423-а. Фундаментальные проблемы разработки и использования микромеханических и микроэлек...
Название : Технологии микросистемной техники и наносенсорики
Авторы/Редакторы : Павельев В. С.
Тукмаков К. Н.
Агафонов А. Н.
Трипати Н.
Кумар С.
Дата публикации : 2020
Библиографическое описание : Технологии микросистемной техники и наносенсорики / В. С. Павельев, К. Н. Тукмаков, А. Н. Агафонов, Н. Трипати, С. Кумар // Навигация и управление движением : сб. тез. докл. Междунар. семинара (Самара, 28 сент. – 2 окт. 2020 г.) / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под общ. ред. И. В. Белоконова. - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2020. - С. 55-56.
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\446766
Ключевые слова: бортовая измерительная техника
дифракционная оптика
интегральная микроэлектроника
литографические технологии
наноматериалы
наносенсорика
миниатюрные сенсоры
микросистемная техника
Располагается в коллекциях: Навигация и управление движением

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Стр.-55-56.pdf416.31 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.