Отрывок: Необходимо отметить широкое распространение технологий прямой записи при создании малых серий устройств микросистемной техники (или уникальных устройств), в то время как технологии литографии изначально ориентированы на серийное производство. Работа выполнена при поддержке гранта РФФИ 19-07-00423-а. Фундаментальные проблемы разработки и использования микромеханических и микроэлек...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorПавельев В. С.ru
dc.contributor.authorТукмаков К. Н.ru
dc.contributor.authorАгафонов А. Н.ru
dc.contributor.authorТрипати Н.ru
dc.contributor.authorКумар С.ru
dc.coverage.spatialбортовая измерительная техникаru
dc.coverage.spatialдифракционная оптикаru
dc.coverage.spatialинтегральная микроэлектроникаru
dc.coverage.spatialлитографические технологииru
dc.coverage.spatialнаноматериалыru
dc.coverage.spatialнаносенсорикаru
dc.coverage.spatialминиатюрные сенсорыru
dc.coverage.spatialмикросистемная техникаru
dc.creatorПавельев В. С., Тукмаков К. Н., Агафонов А. Н., Трипати Н., Кумар С.ru
dc.date.issued2020ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\446766ru
dc.identifier.citationТехнологии микросистемной техники и наносенсорики / В. С. Павельев, К. Н. Тукмаков, А. Н. Агафонов, Н. Трипати, С. Кумар // Навигация и управление движением : сб. тез. докл. Междунар. семинара (Самара, 28 сент. – 2 окт. 2020 г.) / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; под общ. ред. И. В. Белоконова. - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2020. - С. 55-56.ru
dc.language.isorusru
dc.sourceНавигация и управление движением : сб. тез. докл. Междунар. семинара (Самара, 28 сент. – 2 окт. 2020 г.). - Текст : электронныйru
dc.titleТехнологии микросистемной техники и наносенсорикиru
dc.typeTextru
dc.citation.epage56ru
dc.citation.spage55ru
dc.textpartНеобходимо отметить широкое распространение технологий прямой записи при создании малых серий устройств микросистемной техники (или уникальных устройств), в то время как технологии литографии изначально ориентированы на серийное производство. Работа выполнена при поддержке гранта РФФИ 19-07-00423-а. Фундаментальные проблемы разработки и использования микромеханических и микроэлек...-
Располагается в коллекциях: Навигация и управление движением

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Стр.-55-56.pdf416.31 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть  
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.