Отрывок: Приведено описание практической реализация этого метода измерения чистоты поверхности подложек. Принцип измерения заключается в том, что подложку на поверхности, ко­ торой необходимо измерить концентрацию атомов и молекул, загрязняющих ее поверхность, помещают в подложкодержатель, имеющий с осью абсцисс неко­ торый угол. Конкретная величина этого угла определяется массой подложко- держателя и подложки-зонда. Пос...
Название : Устройство экспресс-контроля степени чистоты поверхности подложек. - Текст : электронный
Авторы/Редакторы : Ивлиев Н. А.
Колпаков А. И.
Дата публикации : 2005
Библиографическое описание : Ивлиев, Н. А. Устройство экспресс-контроля степени чистоты поверхности подложек. - Текст : электронный / Н. А. Ивлиев ; науч. руководитель А. И. Колпаков // VIII Королевские чтения: Всерос. молодежн. науч. конф. с междунар. участием, 4-6 окт. 2005 г. : сб. тр. - Текст : электронный / М-во образования и науки Рос. Федерации; Федер. агентство по образованию; Адм. Самар. обл.; Самар. науч. центр Рос. акад. наук; Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева; Гос. науч.-произв. ракет. - 2005. - С. 245
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : http://repo.ssau.ru/handle/Mezhdunarodnaya-molodezhnaya-nauchnaya-konferenciya-Korolevskie-chteniya/Ustroistvo-ekspresskontrolya-stepeni-chistoty-poverhnosti-podlozhek-Tekst-elektronnyi-90064
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\458656
Ключевые слова: трибометрический метод
гибридные интегральные микросхемы
экспресс-контроль чистоты
чистота поверхности подложек
микроминиатюризация микросхем
методы измерения чистоты поверхности подложек
Располагается в коллекциях: Международная молодежная научная конференция "Королевские чтения"

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Стр. 245.pdf53.13 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.