Репозиторий Самарского университета

Отрывок: Приведено описание практической реализация этого метода измерения чистоты поверхности подложек. Принцип измерения заключается в том, что подложку на поверхности, ко­ торой необходимо измерить концентрацию атомов и молекул, загрязняющих ее поверхность, помещают в подложкодержатель, имеющий с осью абсцисс неко­ торый угол. Конкретная величина этого угла определяется массой подложко- держателя и подложки-зонда. Пос...

Название :	Устройство экспресс-контроля степени чистоты поверхности подложек
Авторы/Редакторы :	Ивлиев Н. А. Колпаков А. И.
Дата публикации :	2005
Библиографическое описание :	Ивлиев, Н. А. Устройство экспресс-контроля степени чистоты поверхности подложек / Н. А. Ивлиев ; науч. руководитель А. И. Колпаков // VIII Королевские чтения: Всерос. молодежн. науч. конф. с междунар. участием, 4-6 окт. 2005 г. : сб. тр. / М-во образования и науки Рос. Федерации; Федер. агентство по образованию; Адм. Самар. обл.; Самар. науч. центр Рос. акад. наук; Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева; Гос. науч.-произв. ракет.- косм. центр "ЦСКБ - Прогресс"; ред. И. В. Белоконов. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 245.
Другие идентификаторы :	RU\НТБ СГАУ\458656
Ключевые слова:	трибометрический метод экспресс-контроль чистоты чистота поверхности подложек гибридные интегральные микросхемы методы измерения чистоты поверхности подложек микроминиатюризация микросхем
Располагается в коллекциях:	Королевские чтения

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.