Отрывок: Приведено описание практической реализация этого метода измерения чистоты поверхности подложек. Принцип измерения заключается в том, что подложку на поверхности, ко­ торой необходимо измерить концентрацию атомов и молекул, загрязняющих ее поверхность, помещают в подложкодержатель, имеющий с осью абсцисс неко­ торый угол. Конкретная величина этого угла определяется массой подложко- держателя и подложки-зонда. Пос...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorИвлиев Н. А.ru
dc.contributor.authorКолпаков А. И.ru
dc.coverage.spatialтрибометрический методru
dc.coverage.spatialэкспресс-контроль чистотыru
dc.coverage.spatialчистота поверхности подложекru
dc.coverage.spatialгибридные интегральные микросхемыru
dc.coverage.spatialметоды измерения чистоты поверхности подложекru
dc.coverage.spatialмикроминиатюризация микросхемru
dc.creatorИвлиев Н. А.ru
dc.date.issued2005ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\458656ru
dc.identifier.citationИвлиев, Н. А. Устройство экспресс-контроля степени чистоты поверхности подложек / Н. А. Ивлиев ; науч. руководитель А. И. Колпаков // VIII Королевские чтения: Всерос. молодежн. науч. конф. с междунар. участием, 4-6 окт. 2005 г. : сб. тр. / М-во образования и науки Рос. Федерации; Федер. агентство по образованию; Адм. Самар. обл.; Самар. науч. центр Рос. акад. наук; Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева; Гос. науч.-произв. ракет.- косм. центр "ЦСКБ - Прогресс"; ред. И. В. Белоконов. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 245.ru
dc.sourceVIII Королевские чтения: Всерос. молодежн. науч. конф. с междунар. участием, 4-6 окт. 2005 г. : сб. тр. - Текст : электронныйru
dc.titleУстройство экспресс-контроля степени чистоты поверхности подложекru
dc.typeTextru
dc.citation.spage245ru
dc.textpartПриведено описание практической реализация этого метода измерения чистоты поверхности подложек. Принцип измерения заключается в том, что подложку на поверхности, ко­ торой необходимо измерить концентрацию атомов и молекул, загрязняющих ее поверхность, помещают в подложкодержатель, имеющий с осью абсцисс неко­ торый угол. Конкретная величина этого угла определяется массой подложко- держателя и подложки-зонда. Пос...-
Располагается в коллекциях: Королевские чтения

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Стр. 245.pdf53.13 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.