Отрывок: Канал заполнен сорбентом 5. Разработанный базовый алгоритм создания системы выглядит следующим образом: 1. на предварительно очищенную стеклянную или керамическую пластину 1 наносят методом магнетронного распыления тонкий металлический слой 4; 2. на тонкий металлический слой наносится фоторезист, и методом фотолитографии создается рисунок каналов 3; 3. производится жидкостное травление каналов на плас...
Название : Разработка технологии изготовления микрофлюидной системы на базе кремниевых и стеклянных подложек
Авторы/Редакторы : Потиенко К. И.
Агафонов А. Н.
Дата публикации : 2019
Библиографическое описание : Потиенко, К. И. Разработка технологии изготовления микрофлюидной системы на базе кремниевых и стеклянных подложек / К. И. Потиенко, А. Н. Агафонов // XV Королевские чтения [Электронный ресурс] : междунар. молодеж. науч. конф., посвящ. 100-летию со дня рождения Д. И. Козлова : сб. тр. : 8-10 окт. 201 / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; [науч. ред. М. А. Шлеенков]. - 2019. - Т. 1. - С. 415-416
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\430519
Ключевые слова: аналитическая химия
кремниевые подложки
жидкостное химическое травление
микрофлюидные системы
стеклянные подложки
Располагается в коллекциях: Королевские чтения

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
XV Королевские чтения 2019 Том 1-415-416.pdf897.35 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.