Отрывок: Канал заполнен сорбентом 5. Разработанный базовый алгоритм создания системы выглядит следующим образом: 1. на предварительно очищенную стеклянную или керамическую пластину 1 наносят методом магнетронного распыления тонкий металлический слой 4; 2. на тонкий металлический слой наносится фоторезист, и методом фотолитографии создается рисунок каналов 3; 3. производится жидкостное травление каналов на плас...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorПотиенко К. И.ru
dc.contributor.authorАгафонов А. Н.ru
dc.coverage.spatialаналитическая химияru
dc.coverage.spatialкремниевые подложкиru
dc.coverage.spatialжидкостное химическое травлениеru
dc.coverage.spatialмикрофлюидные системыru
dc.coverage.spatialстеклянные подложкиru
dc.creatorПотиенко К. И., Агафонов А. Н.ru
dc.date.issued2019ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\430519ru
dc.identifier.citationПотиенко, К. И. Разработка технологии изготовления микрофлюидной системы на базе кремниевых и стеклянных подложек / К. И. Потиенко, А. Н. Агафонов // XV Королевские чтения [Электронный ресурс] : междунар. молодеж. науч. конф., посвящ. 100-летию со дня рождения Д. И. Козлова : сб. тр. : 8-10 окт. 201 / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; [науч. ред. М. А. Шлеенков]. - 2019. - Т. 1. - С. 415-416ru
dc.relation.ispartofXV Королевские чтения [Электронный ресурс] : междунар. молодеж. науч. конф., посвящ. 100-летию со дня рождения Д. И. Козлова : сб. тр. : 8-10 окт. 201ru
dc.sourceXV Королевские чтения. - Т. 1ru
dc.titleРазработка технологии изготовления микрофлюидной системы на базе кремниевых и стеклянных подложекru
dc.typeTextru
dc.citation.epage416ru
dc.citation.spage415ru
dc.citation.volume1ru
dc.textpartКанал заполнен сорбентом 5. Разработанный базовый алгоритм создания системы выглядит следующим образом: 1. на предварительно очищенную стеклянную или керамическую пластину 1 наносят методом магнетронного распыления тонкий металлический слой 4; 2. на тонкий металлический слой наносится фоторезист, и методом фотолитографии создается рисунок каналов 3; 3. производится жидкостное травление каналов на плас...-
Располагается в коллекциях: Королевские чтения

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
XV Королевские чтения 2019 Том 1-415-416.pdf897.35 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.