Репозиторий Самарского университета

Отрывок: Для ее ре­ шения нами разрабатывается частная модель электродиффузионных процес­ сов в алюминиевых пленках, которая позволит оценить время наработки на от­ каз алюминиевой металлизации с учетом параметров технологического про­ цесса ее создания. Модель реализована на основе методики вероятностного клеточного автомата (ВКА) и рассматривает процессы ЭПМ в продольном се­ чении проводника. Достоинства подхода ВКА: возможность рассмотрения лю­ бой структуры крис...

Название :	Разработка частной модели электродиффузионных процессов в алюминиевой металлизации интегральных микросхем
Авторы/Редакторы :	Тукмаков К. Н. Арефьев М. В. Архипов А. В.
Дата публикации :	2005
Библиографическое описание :	Тукмаков, К. Н. Разработка частной модели электродиффузионных процессов в алюминиевой металлизации интегральных микросхем / К. Н. Тукмаков, М. В. Арефьев ; науч. руководитель А. В. Архипов // VIII Королевские чтения: Всерос. молодежн. науч. конф. с междунар. участием, 4-6 окт. 2005 г. : сб. тр. / М-во образования и науки Рос. Федерации; Федер. агентство по образованию; Адм. Самар. обл.; Самар. науч. центр Рос. акад. наук; Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева; Гос. науч.-произв. ракет.- косм. центр "ЦСКБ - Прогресс"; ред. И. В. Белоконов. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 265.
Другие идентификаторы :	RU\НТБ СГАУ\458742
Ключевые слова:	алюминиевая металлизация микросхем частная модель электродиффузионных процессов электродиффузионные процессы интегральные микросхемы
Располагается в коллекциях:	Королевские чтения

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.