Отрывок: Для ее ре­ шения нами разрабатывается частная модель электродиффузионных процес­ сов в алюминиевых пленках, которая позволит оценить время наработки на от­ каз алюминиевой металлизации с учетом параметров технологического про­ цесса ее создания. Модель реализована на основе методики вероятностного клеточного автомата (ВКА) и рассматривает процессы ЭПМ в продольном се­ чении проводника. Достоинства подхода ВКА: возможность рассмотрения лю­ бой структуры крис...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorТукмаков К. Н.ru
dc.contributor.authorАрефьев М. В.ru
dc.contributor.authorАрхипов А. В.ru
dc.coverage.spatialалюминиевая металлизация микросхемru
dc.coverage.spatialчастная модель электродиффузионных процессовru
dc.coverage.spatialэлектродиффузионные процессыru
dc.coverage.spatialинтегральные микросхемыru
dc.creatorТукмаков К. Н., Арефьев М. В.ru
dc.date.issued2005ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\458742ru
dc.identifier.citationТукмаков, К. Н. Разработка частной модели электродиффузионных процессов в алюминиевой металлизации интегральных микросхем / К. Н. Тукмаков, М. В. Арефьев ; науч. руководитель А. В. Архипов // VIII Королевские чтения: Всерос. молодежн. науч. конф. с междунар. участием, 4-6 окт. 2005 г. : сб. тр. / М-во образования и науки Рос. Федерации; Федер. агентство по образованию; Адм. Самар. обл.; Самар. науч. центр Рос. акад. наук; Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева; Гос. науч.-произв. ракет.- косм. центр "ЦСКБ - Прогресс"; ред. И. В. Белоконов. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 265.ru
dc.sourceVIII Королевские чтения: Всерос. молодежн. науч. конф. с междунар. участием, 4-6 окт. 2005 г. : сб. тр. - Текст : электронныйru
dc.titleРазработка частной модели электродиффузионных процессов в алюминиевой металлизации интегральных микросхемru
dc.typeTextru
dc.citation.spage265ru
dc.textpartДля ее ре­ шения нами разрабатывается частная модель электродиффузионных процес­ сов в алюминиевых пленках, которая позволит оценить время наработки на от­ каз алюминиевой металлизации с учетом параметров технологического про­ цесса ее создания. Модель реализована на основе методики вероятностного клеточного автомата (ВКА) и рассматривает процессы ЭПМ в продольном се­ чении проводника. Достоинства подхода ВКА: возможность рассмотрения лю­ бой структуры крис...-
Располагается в коллекциях: Королевские чтения

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Стр. 265.pdf57.1 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.