Отрывок: В этом случае если стержень выполнен из кремния, а его сечение располагается в кристаллографической плоскости 111, то плоскость сечения проходит вдоль диагоналей куба, образуя равносторонний треуголь­ ник. Следовательно, при наличии такого отклонения при селективном травле­ нии пластин на их поверхности образуются ямки травления в виде равнобед­ ренного треугольника или трапеций. По степени отклонения фигур от правиль­ ной геометрической формы предлагается осуществлять оценк...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorРогова А. С.ru
dc.contributor.authorКолпаков А. И.ru
dc.coverage.spatialразрезание на пластиныru
dc.coverage.spatialразрезание полупроводниковых стержнейru
dc.coverage.spatialалмазоподобные полупроводникиru
dc.coverage.spatialфизико-математические моделиru
dc.coverage.spatialкорреляция параметров кристаллаru
dc.coverage.spatialкристаллографические параметры поверхности пластиныru
dc.coverage.spatialкристаллыru
dc.coverage.spatialпластины кремния КЭФ-32ru
dc.coverage.spatialпараметры кристалловru
dc.creatorРогова А. С.ru
dc.date.issued2005ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\458711ru
dc.identifier.citationРогова, А. С. Исследование корелляции параметров кристалла и режимов процесса разрезания полупроводниковых стержней на пластины / А. С. Рогова ; науч. руководитель А. И. Колпаков // VIII Королевские чтения: Всерос. молодежн. науч. конф. с междунар. участием, 4-6 окт. 2005 г. : сб. тр. / М-во образования и науки Рос. Федерации; Федер. агентство по образованию; Адм. Самар. обл.; Самар. науч. центр Рос. акад. наук; Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева; Гос. науч.-произв. ракет.- косм. центр "ЦСКБ - Прогресс"; ред. И. В. Белоконов. - Самаpа : СГАУ, 2005. - С. 260.ru
dc.sourceVIII Королевские чтения: Всерос. молодежн. науч. конф. с междунар. участием, 4-6 окт. 2005 г. : сб. тр. - Текст : электронныйru
dc.titleИсследование корелляции параметров кристалла и режимов процесса разрезания полупроводниковых стержней на пластиныru
dc.typeTextru
dc.citation.spage260ru
dc.textpartВ этом случае если стержень выполнен из кремния, а его сечение располагается в кристаллографической плоскости 111, то плоскость сечения проходит вдоль диагоналей куба, образуя равносторонний треуголь­ ник. Следовательно, при наличии такого отклонения при селективном травле­ нии пластин на их поверхности образуются ямки травления в виде равнобед­ ренного треугольника или трапеций. По степени отклонения фигур от правиль­ ной геометрической формы предлагается осуществлять оценк...-
Располагается в коллекциях: Королевские чтения

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Стр. 260.pdf54.19 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.