Отрывок: В этом случае если стержень выполнен из кремния, а его сечение располагается в кристаллографической плоскости 111, то плоскость сечения проходит вдоль диагоналей куба, образуя равносторонний треуголь­ ник. Следовательно, при наличии такого отклонения при селективном травле­ нии пластин на их поверхности образуются ямки травления в виде равнобед­ ренного треугольника или трапеций. По степени отклонения фигур от правиль­ ной геометрической формы предлагается осуществлять оценк...
Название : Исследование корелляции параметров кристалла и режимов процесса разрезания полупроводниковых стержней на пластины. - Текст : электронный
Авторы/Редакторы : Рогова А. С.
Колпаков А. И.
Дата публикации : 2005
Библиографическое описание : Рогова, А. С. Исследование корелляции параметров кристалла и режимов процесса разрезания полупроводниковых стержней на пластины. - Текст : электронный / А. С. Рогова ; науч. руководитель А. И. Колпаков // VIII Королевские чтения: Всерос. молодежн. науч. конф. с междунар. участием, 4-6 окт. 2005 г. : сб. тр. - Текст : электронный / М-во образования и науки Рос. Федерации; Федер. агентство по образованию; Адм. Самар. обл.; Самар. науч. центр Рос. акад. наук; Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева; Гос. науч.-произв. ракет. - 2005. - С. 260
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : http://repo.ssau.ru/handle/Mezhdunarodnaya-molodezhnaya-nauchnaya-konferenciya-Korolevskie-chteniya/Issledovanie-korellyacii-parametrov-kristalla-i-rezhimov-processa-razrezaniya-poluprovodnikovyh-sterzhnei-na-plastiny-Tekst-elektronnyi-90079
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\458711
Ключевые слова: алмазоподобные полупроводники
разрезание на пластины
разрезание полупроводниковых стержней
физико-математические модели
кристаллографические параметры поверхности пластины
кристаллы
корреляция параметров кристалла
параметры кристаллов
пластины кремния КЭФ-32
Располагается в коллекциях: Международная молодежная научная конференция "Королевские чтения"

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Стр. 260.pdf54.19 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.