Отрывок: Но известно, что высоко активные атомы кислорода и фтора между собой не взаимодействуют [4]. Таким образом, фтор по химической активности в соединениях не уступает кислороду и способен замещать его атомы. Секция 7. Электроника и приборостроение 381 Для создания гидрофобной поверхности нами предложен способ включает такие операции по очистке кремниевых подложек: - органические загр...
Название : Сканирующая электронная микроскопия в технологии очистки кремниевых подложки
Авторы/Редакторы : Абдулхаликова К. К.
Дата публикации : 2019
Библиографическое описание : Абдулхаликова, К. К. Сканирующая электронная микроскопия в технологии очистки кремниевых подложки / К. К. Абдулхаликова // XV Королевские чтения [Электронный ресурс] : междунар. молодеж. науч. конф., посвящ. 100-летию со дня рождения Д. И. Козлова : сб. тр. : 8-10 окт. 201 / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; [науч. ред. М. А. Шлеенков]. - 2019. - Т. 1. - С. 380-381
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\430448
Ключевые слова: кремниевые подложки
очистка подложек
сканирующая микроскопия
электронная микроскопия
чистота поверхности
Располагается в коллекциях: Королевские чтения

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
XV Королевские чтения 2019 Том 1-380-381.pdf625.05 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.