Отрывок: Но известно, что высоко активные атомы кислорода и фтора между собой не взаимодействуют [4]. Таким образом, фтор по химической активности в соединениях не уступает кислороду и способен замещать его атомы. Секция 7. Электроника и приборостроение 381 Для создания гидрофобной поверхности нами предложен способ включает такие операции по очистке кремниевых подложек: - органические загр...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorАбдулхаликова К. К.ru
dc.coverage.spatialкремниевые подложкиru
dc.coverage.spatialочистка подложекru
dc.coverage.spatialсканирующая микроскопияru
dc.coverage.spatialэлектронная микроскопияru
dc.coverage.spatialчистота поверхностиru
dc.creatorАбдулхаликова К. К.ru
dc.date.issued2019ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\430448ru
dc.identifier.citationАбдулхаликова, К. К. Сканирующая электронная микроскопия в технологии очистки кремниевых подложки / К. К. Абдулхаликова // XV Королевские чтения [Электронный ресурс] : междунар. молодеж. науч. конф., посвящ. 100-летию со дня рождения Д. И. Козлова : сб. тр. : 8-10 окт. 201 / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; [науч. ред. М. А. Шлеенков]. - 2019. - Т. 1. - С. 380-381ru
dc.relation.ispartofXV Королевские чтения [Электронный ресурс] : междунар. молодеж. науч. конф., посвящ. 100-летию со дня рождения Д. И. Козлова : сб. тр. : 8-10 окт. 201ru
dc.sourceXV Королевские чтения. - Т. 1ru
dc.titleСканирующая электронная микроскопия в технологии очистки кремниевых подложкиru
dc.typeTextru
dc.citation.epage381ru
dc.citation.spage380ru
dc.citation.volume1ru
dc.textpartНо известно, что высоко активные атомы кислорода и фтора между собой не взаимодействуют [4]. Таким образом, фтор по химической активности в соединениях не уступает кислороду и способен замещать его атомы. Секция 7. Электроника и приборостроение 381 Для создания гидрофобной поверхности нами предложен способ включает такие операции по очистке кремниевых подложек: - органические загр...-
Располагается в коллекциях: Королевские чтения

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
XV Королевские чтения 2019 Том 1-380-381.pdf625.05 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.