Отрывок: Испарители из ленточного ( листового) материала обычно изготовляют из вольфрама, тантала или молибдена тол- щиной 0,25 мм. Они используются для навесок до нескольких граммов, а также в случае плохой смачиваемости .Испарители в виде тиглей ( рисунок 2 ) применяют, если необходимо загружать большие количества ( как пра- вило, сыпучего ) материала ( несколько граммов и более ) . Материал тигля подбирают в зависимости от испаряемого материала ( таблица 3 ) . ...
Название : Изучение технологии изготовления пассивных элементов гибридных интегральных микросхем методом термического осаждения в вакууме
Авторы/Редакторы : Дмитриев В. Д.
Меркулов А. И.
Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева
Дата публикации : 2002
Библиографическое описание : Изучение технологии изготовления пассивных элементов гибридных интегральных микросхем методом термического осаждения в вакууме [Электронный ресурс] : метод. указания к лаб. работе / Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; сост. В. Д. Дмитриев, сост. А. И. Меркулов. - Самара, 2002. - on-line
Аннотация : Приводятся сведения об осаждаемых материалах и материалах для испарителей, конструкции испарителей, технологических процессах подготовки испарителей, навесок и масок к напылению. Описаны технологические процессы изготовления тонкопленочных пассивных элеме
Используемые программы: Adobe Acrobat
Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия)
Другие идентификаторы : RU/НТБ СГАУ/WALL/СГАУ:6/И 395-216195
Ключевые слова: гибридные интегральные схемы
осаждаемые материалы
интегральные микросхемы
навески
методы осаждения
технологические процессы
пассивные элементы
пассивные элементы интегральных микросхем
маски
материалы для испарителей
метод термического осаждения в вакууме
Располагается в коллекциях: Методические издания

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
Дмитриев В.Д. Изучение технологии 2002.pdf202.54 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.