Отрывок: Испарители из ленточного ( листового) материала обычно изготовляют из вольфрама, тантала или молибдена тол- щиной 0,25 мм. Они используются для навесок до нескольких граммов, а также в случае плохой смачиваемости .Испарители в виде тиглей ( рисунок 2 ) применяют, если необходимо загружать большие количества ( как пра- вило, сыпучего ) материала ( несколько граммов и более ) . Материал тигля подбирают в зависимости от испаряемого материала ( таблица 3 ) . ...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorДмитриев В. Д.ru
dc.contributor.authorМеркулов А. И.ru
dc.contributor.authorСамарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королеваru
dc.coverage.spatialгибридные интегральные схемыru
dc.coverage.spatialосаждаемые материалыru
dc.coverage.spatialинтегральные микросхемыru
dc.coverage.spatialнавескиru
dc.coverage.spatialметоды осажденияru
dc.coverage.spatialтехнологические процессыru
dc.coverage.spatialпассивные элементыru
dc.coverage.spatialпассивные элементы интегральных микросхемru
dc.coverage.spatialмаскиru
dc.coverage.spatialматериалы для испарителейru
dc.coverage.spatialметод термического осаждения в вакуумеru
dc.date.issued2002ru
dc.identifierRU/НТБ СГАУ/WALL/СГАУ:6/И 395-216195ru
dc.identifier.citationИзучение технологии изготовления пассивных элементов гибридных интегральных микросхем методом термического осаждения в вакууме [Электронный ресурс] : метод. указания к лаб. работе / Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; сост. В. Д. Дмитриев, сост. А. И. Меркулов. - Самара, 2002. - on-lineru
dc.description.abstractПриводятся сведения об осаждаемых материалах и материалах для испарителей, конструкции испарителей, технологических процессах подготовки испарителей, навесок и масок к напылению. Описаны технологические процессы изготовления тонкопленочных пассивных элемеru
dc.description.abstractИспользуемые программы: Adobe Acrobatru
dc.description.abstractТруды сотрудников СГАУ (электрон. версия)ru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 285 Кбайт)ru
dc.language.isorusru
dc.relation.isformatofИзучение технологии изготовления пассивных элементов гибридных интегральных микросхем методом термического осаждения в вакууме [Текст] : метод. указанru
dc.titleИзучение технологии изготовления пассивных элементов гибридных интегральных микросхем методом термического осаждения в вакуумеru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti47.45ru
dc.subject.udc621.382(075)ru
dc.subject.udcСГАУ:6(075)ru
dc.textpartИспарители из ленточного ( листового) материала обычно изготовляют из вольфрама, тантала или молибдена тол- щиной 0,25 мм. Они используются для навесок до нескольких граммов, а также в случае плохой смачиваемости .Испарители в виде тиглей ( рисунок 2 ) применяют, если необходимо загружать большие количества ( как пра- вило, сыпучего ) материала ( несколько граммов и более ) . Материал тигля подбирают в зависимости от испаряемого материала ( таблица 3 ) . ...-
Располагается в коллекциях: Методические издания

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
Дмитриев В.Д. Изучение технологии 2002.pdf202.54 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.