Отрывок: ..1,33 Па и при этом давлении в распылителях загорается разряд, под действием которого происходит распыление материала катода магнетрона 21 и осаждение атомов материала на вращающиеся подложки 20. Скорость осаждения материала на подложки зависит от мощности магнетронного распылителя. Наибольшая скорость распыления достигается при давлении аргона 6,65·10-1...2,66·10-1Па. Для поддержания оптимальной скорости распыления...
Название : Изучение оборудования и технологии нанесения слоев методом магнетронного распыления материалов [Электронный ресурс] : метод. указания к лаб. работе
Авторы/Редакторы : Архипов А. В.
Дмитриев В. Д.
Волков А. В.
Лофицкий И. В.
Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева
Дата публикации : 2001
Аннотация : Используемые программы: Adobe Acrobat
Приведены теоретические сведения по технологии нанесения слоев методом магнетронного распыления материалов. Описаны основные узлы и блоки агрегата непрерывного действия типа О1НИ-7-006, а также порядок работы на нем для приобретения практических навык
Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия)
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : http://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-ukazaniya/Izuchenie-oborudovaniya-i-tehnologii-naneseniya-sloev-metodom-magnetronnogo-raspyleniya-materialov-Elektronnyi-resurs-metod-ukazaniya-k-lab-rabote-53717
Другие идентификаторы : RU/НТБ СГАУ/WALL/СГАУ:6/И 395-577740
Ключевые слова: агрегаты непрерывного действия
блоки агрегатов непрерывного действия
магнетронное распыление материалов
О1НИ-7-006 (агрегат непрерывного действия)
метод магнетронного распыления материалов
нанесение материалов на подложку
узлы агрегатов непрерывного действия
технология нанесения слоев
Располагается в коллекциях: Методические издания

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
Архипов А.В. Изучение оборудования.pdf5.2 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.