Отрывок: Скорость осаждения материала на подложки зависит от мощности магнетронного распылителя. Наибольшая скорость распыления достигается при давлении аргона 6,65-10-1...2,66-10-1 Па. Для поддержания оптимальной скорости распыления рекомендуется работа в диапазоне от 7,5А и 370В до 12А и 260В. Ток магнетронного распылителя при заданном напряжении питания на него поддерживается с помощью блоков стабилизации тока разряда (БСТР) путем изменения давлен...
Название : Изучение оборудования и технологии нанесения слоев методом магнетронного распыления материалов
Авторы/Редакторы : Архипов А. В.
Дмитриев В. Д.
Волков А. В.
Лофицкий И. В.
Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева
Дата публикации : 2001
Библиографическое описание : Изучение оборудования и технологии нанесения слоев методом магнетронного распыления материалов [Электронный ресурс] : метод. указания к лаб. работе / Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; сост. А. В. Архипов и др. - Самара, 2001. - on-line
Аннотация : Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия)
Приведены теоретические сведения по технологии нанесения слоев методом магнетронного распыления материалов. Описаны основные узлы и блоки агрегата непрерывного действия типа О1НИ-7-006, а также порядок работы на нем для приобретения практических навык
Используемые программы: Adobe Acrobat
Другие идентификаторы : RU/НТБ СГАУ/WALL/СГАУ:6/И 395-577740
Ключевые слова: О1НИ-7-006 (агрегат непрерывного действия)
узлы агрегатов непрерывного действия
блоки агрегатов непрерывного действия
нанесение материалов на подложку
технология нанесения слоев
агрегаты непрерывного действия
магнетронное распыление материалов
метод магнетронного распыления материалов
Располагается в коллекциях: Методические издания

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
Архипов А.В. Изучение оборудования.pdf5.2 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.