Отрывок: Скорость осаждения материала на подложки зависит от мощности магнетронного распылителя. Наибольшая скорость распыления достигается при давлении аргона 6,65-10-1...2,66-10-1 Па. Для поддержания оптимальной скорости распыления рекомендуется работа в диапазоне от 7,5А и 370В до 12А и 260В. Ток магнетронного распылителя при заданном напряжении питания на него поддерживается с помощью блоков стабилизации тока разряда (БСТР) путем изменения давлен...
Название : | Изучение оборудования и технологии нанесения слоев методом магнетронного распыления материалов |
Авторы/Редакторы : | Архипов А. В. Дмитриев В. Д. Волков А. В. Лофицкий И. В. Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева |
Дата публикации : | 2001 |
Библиографическое описание : | Изучение оборудования и технологии нанесения слоев методом магнетронного распыления материалов [Электронный ресурс] : метод. указания к лаб. работе / Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; сост. А. В. Архипов и др. - Самара, 2001. - on-line |
Аннотация : | Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия) Приведены теоретические сведения по технологии нанесения слоев методом магнетронного распыления материалов. Описаны основные узлы и блоки агрегата непрерывного действия типа О1НИ-7-006, а также порядок работы на нем для приобретения практических навык Используемые программы: Adobe Acrobat |
Другие идентификаторы : | RU/НТБ СГАУ/WALL/СГАУ:6/И 395-577740 |
Ключевые слова: | О1НИ-7-006 (агрегат непрерывного действия) узлы агрегатов непрерывного действия блоки агрегатов непрерывного действия нанесение материалов на подложку технология нанесения слоев агрегаты непрерывного действия магнетронное распыление материалов метод магнетронного распыления материалов |
Располагается в коллекциях: | Методические издания |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Архипов А.В. Изучение оборудования.pdf | 5.2 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.