Отрывок: Скорость осаждения материала на подложки зависит от мощности магнетронного распылителя. Наибольшая скорость распыления достигается при давлении аргона 6,65-10-1...2,66-10-1 Па. Для поддержания оптимальной скорости распыления рекомендуется работа в диапазоне от 7,5А и 370В до 12А и 260В. Ток магнетронного распылителя при заданном напряжении питания на него поддерживается с помощью блоков стабилизации тока разряда (БСТР) путем изменения давлен...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorАрхипов А. В.ru
dc.contributor.authorДмитриев В. Д.ru
dc.contributor.authorВолков А. В.ru
dc.contributor.authorЛофицкий И. В.ru
dc.contributor.authorСамарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королеваru
dc.coverage.spatialО1НИ-7-006 (агрегат непрерывного действия)ru
dc.coverage.spatialузлы агрегатов непрерывного действияru
dc.coverage.spatialблоки агрегатов непрерывного действияru
dc.coverage.spatialнанесение материалов на подложкуru
dc.coverage.spatialтехнология нанесения слоевru
dc.coverage.spatialагрегаты непрерывного действияru
dc.coverage.spatialмагнетронное распыление материаловru
dc.coverage.spatialметод магнетронного распыления материаловru
dc.date.issued2001ru
dc.identifierRU/НТБ СГАУ/WALL/СГАУ:6/И 395-577740ru
dc.identifier.citationИзучение оборудования и технологии нанесения слоев методом магнетронного распыления материалов [Электронный ресурс] : метод. указания к лаб. работе / Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; сост. А. В. Архипов и др. - Самара, 2001. - on-lineru
dc.description.abstractТруды сотрудников СГАУ (электрон. версия)ru
dc.description.abstractПриведены теоретические сведения по технологии нанесения слоев методом магнетронного распыления материалов. Описаны основные узлы и блоки агрегата непрерывного действия типа О1НИ-7-006, а также порядок работы на нем для приобретения практических навыкru
dc.description.abstractИспользуемые программы: Adobe Acrobatru
dc.format.extentЭлектрон. дан. (1 файл : 909 Кбайт)ru
dc.language.isorusru
dc.relation.isformatofИзучение оборудования и технологии нанесения слоев методом магнетронного распыления материалов [Текст] : метод. указания к лаб. работеru
dc.titleИзучение оборудования и технологии нанесения слоев методом магнетронного распыления материаловru
dc.typeTextru
dc.subject.rugasnti55.22ru
dc.subject.udc621.793.7:621.385.64(075)ru
dc.subject.udcСГАУ:6(075)ru
dc.textpartСкорость осаждения материала на подложки зависит от мощности магнетронного распылителя. Наибольшая скорость распыления достигается при давлении аргона 6,65-10-1...2,66-10-1 Па. Для поддержания оптимальной скорости распыления рекомендуется работа в диапазоне от 7,5А и 370В до 12А и 260В. Ток магнетронного распылителя при заданном напряжении питания на него поддерживается с помощью блоков стабилизации тока разряда (БСТР) путем изменения давлен...-
Располагается в коллекциях: Методические издания

Файлы этого ресурса:
Файл Описание Размер Формат  
Архипов А.В. Изучение оборудования.pdf5.2 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.