Отрывок:
Название : | Изучение технологии изготовления пассивных элементов ГИС методом фотолитографии |
Авторы/Редакторы : | Дмитриев В. Д. Волков А. В. Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР Куйбышевский авиационный институт им. С. П. Королева |
Дата публикации : | 1982 |
Библиографическое описание : | Изучение технологии изготовления пассивных элементов ГИС методом фотолитографии : метод. указания к лаб. работе № 35. - Текст : электронный / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Куйбышев. авиац. ин-т им. С. П. Королева ; [сост. В. Д. Дмитриев, А. В. Волков]. - Куйбышев, 1982. - 1 файл (461,75 Кб) |
Аннотация : | Используемые программы: Adobe Acrobat. Предлагаются методы изучения и практического освоения основных операций фотолитографического процесса получения рисунка пассивных элементов ГИС. Исследуется точность изготовления размеров пассивных пленочных элементов. Рекомендуется студентам специальности 0705 при изучении курса "Конструкции и технология микросхем".. Труды сотрудников КуАИ (электрон. версия). |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : | http://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Izuchenie-tehnologii-izgotovleniya-passivnyh-elementov-GIS-metodom-fotolitografii-93713 |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\470501 |
Ключевые слова: | гибридные интегральные схемы (ГИС) методические издания микросхемы пассивные элементы ГИС фотолиграфические процессы |
Располагается в коллекциях: | Методические издания |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Дмитриев В.Д. Изучение 1982.pdf | 470.97 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.