Отрывок:
Название : Изучение технологии изготовления пассивных элементов ГИС методом фотолитографии
Авторы/Редакторы : Дмитриев В. Д.
Волков А. В.
Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР
Куйбышевский авиационный институт им. С. П. Королева
Дата публикации : 1982
Библиографическое описание : Изучение технологии изготовления пассивных элементов ГИС методом фотолитографии : метод. указания к лаб. работе № 35. - Текст : электронный / М-во высш. и сред. спец. образования РСФСР, Куйбышев. авиац. ин-т им. С. П. Королева ; [сост. В. Д. Дмитриев, А. В. Волков]. - Куйбышев, 1982. - 1 файл (461,75 Кб)
Аннотация : Используемые программы: Adobe Acrobat.
Предлагаются методы изучения и практического освоения основных операций фотолитографического процесса получения рисунка пассивных элементов ГИС. Исследуется точность изготовления размеров пассивных пленочных элементов. Рекомендуется студентам специальности 0705 при изучении курса "Конструкции и технология микросхем"..
Труды сотрудников КуАИ (электрон. версия).
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : http://repo.ssau.ru/handle/Metodicheskie-izdaniya/Izuchenie-tehnologii-izgotovleniya-passivnyh-elementov-GIS-metodom-fotolitografii-93713
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\470501
Ключевые слова: гибридные интегральные схемы (ГИС)
методические издания
микросхемы
пассивные элементы ГИС
фотолиграфические процессы
Располагается в коллекциях: Методические издания

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Дмитриев В.Д. Изучение 1982.pdf470.97 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.