Отрывок: Б электронной микроскопии изображение получают с помощью элект ронов, прошедших через объект, либо отраженных от него, либо им ис пущенных, Электронные пучки форшруются электронно-оптическими сис темами с использованием электромагнитных или электростатических линз. Изображение фиксируется на люминесцентных экранах, фотопластин ках или иных чувствительных к электронам детекторах с ...
Название : | Аналитические исследования и измерения в производстве изделий специальной микроэлектроники |
Авторы/Редакторы : | Рафельсон Л. Л. Чернова Т. В. . Министерство науки высшей школы и технической политики Российской Федерации Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева |
Дата публикации : | 1993 |
Библиографическое описание : | Аналитические исследования и измерения в производстве изделий специальной микроэлектроники : метод. указания к контролируемой самостоят. работе. - Текст : электронный / М-во науки, высш. шк. и техн. политики Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; сост. Л. Л. Рафельсон, Т. В. Чернова. - Самаpа, 1993. - 1 файл (903 Кб) |
Аннотация : | Рассмотрены современные методы исследования тонкопленочных и толстопленочных элементов интегральных схем, полупроводников, сегнето- и пьезоэлектриков, материалов функциональных схем. Дан сравнительный анализ различных методов, приведены их возможности и ограничения. Приведены примеры практического использования методик для исследования и измерения параметров элементов интегральных схем. Рекомендуется студентам спец. 23.03, изучающим курс "Специальные вопросы микроэлектроники и технологии*. Составлены на кафедре "Микроэлектроника и технология РЗА*. Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия). Используемые программы: Adobe Acrobat. |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\449978 |
Ключевые слова: | интегральные схемы микроэлектроника методические указания полупроводники |
Располагается в коллекциях: | Методические издания |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Рафельсон Л.Л. Аналитические исследования 1993.pdf | 904 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.