Отрывок: Б электронной микроскопии изображение получают с помощью элект ронов, прошедших через объект, либо отраженных от него, либо им ис пущенных, Электронные пучки форшруются электронно-оптическими сис темами с использованием электромагнитных или электростатических линз. Изображение фиксируется на люминесцентных экранах, фотопластин ках или иных чувствительных к электронам детекторах с ...
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Рафельсон Л. Л. | ru |
dc.contributor.author | Чернова Т. В. | ru |
dc.contributor.author | . Министерство науки | ru |
dc.contributor.author | высшей школы и технической политики Российской Федерации | ru |
dc.contributor.author | Самарский государственный аэрокосмический университет им. С. П. Королева | ru |
dc.coverage.spatial | интегральные схемы | ru |
dc.coverage.spatial | микроэлектроника | ru |
dc.coverage.spatial | методические указания | ru |
dc.coverage.spatial | полупроводники | ru |
dc.date.issued | 1993 | ru |
dc.identifier | RU\НТБ СГАУ\449978 | ru |
dc.identifier.citation | Аналитические исследования и измерения в производстве изделий специальной микроэлектроники : метод. указания к контролируемой самостоят. работе. - Текст : электронный / М-во науки, высш. шк. и техн. политики Рос. Федерации, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; сост. Л. Л. Рафельсон, Т. В. Чернова. - Самаpа, 1993. - 1 файл (903 Кб) | ru |
dc.description.abstract | Рассмотрены современные методы исследования тонкопленочных и толстопленочных элементов интегральных схем, полупроводников, сегнето- и пьезоэлектриков, материалов функциональных схем. Дан сравнительный анализ различных методов, приведены их возможности и ограничения. Приведены примеры практического использования методик для исследования и измерения параметров элементов интегральных схем. Рекомендуется студентам спец. 23.03, изучающим курс "Специальные вопросы микроэлектроники и технологии*. Составлены на кафедре "Микроэлектроника и технология РЗА*. | ru |
dc.description.abstract | Труды сотрудников СГАУ (электрон. версия). | ru |
dc.description.abstract | Используемые программы: Adobe Acrobat. | ru |
dc.format.extent | Электрон. дан. (1 файл : 903 КБ) | ru |
dc.language.iso | rus | ru |
dc.relation.isformatof | Аналитические исследования и измерения в производстве изделий специальной микроэлектроники : метод. указания к контролируемой самостоят. работе. - Тек | ru |
dc.title | Аналитические исследования и измерения в производстве изделий специальной микроэлектроники | ru |
dc.type | Text | ru |
dc.subject.rugasnti | 47.33.31 | ru |
dc.subject.udc | 621.382.049.77.002(075) | ru |
dc.textpart | Б электронной микроскопии изображение получают с помощью элект ронов, прошедших через объект, либо отраженных от него, либо им ис пущенных, Электронные пучки форшруются электронно-оптическими сис темами с использованием электромагнитных или электростатических линз. Изображение фиксируется на люминесцентных экранах, фотопластин ках или иных чувствительных к электронам детекторах с ... | - |
Располагается в коллекциях: | Методические издания |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Рафельсон Л.Л. Аналитические исследования 1993.pdf | 904 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать базовое описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.