Отрывок: ru LXXII Молодёжная научная конференция 167 определить спектр отражения подложки и рассчитать ее показатель преломления, а затем рассчитать оптические константы исследуемой пленки. В УФ диапазоне в карбиде кремния наблюдается основное поглощение. В данной работе считается, что поглощение достаточно сильное, так что многократным отражением можно пренебречь. Для увеличения точности определения оптических параметров ...
Название : Оптические свойства слоев карбида кремния, получаемых методом магнетронного распыления
Авторы/Редакторы : Курганский И. В.
Щербак А. В.
Дата публикации : 2022
Библиографическое описание : Курганский, И. В. Оптические свойства слоев карбида кремния, получаемых методом магнетронного распыления / И. В. Курганский ; науч. руководитель А. В. Щербак // LXXII молодежная научная конференция, посвященная 80-летию КуАИ-СГАУ-Самарского университета, 115-летию со дня рождения академика С. П. Королева : тезисы докладов / М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Самар. нац. исслед. ун-т им. С. П. Королева (Самар. ун-т) ; отв. ред. А. Б. Прокофьев, ред. М. А. Шлеенков. - Самара : Изд-во Самар. ун-та, 2022. - С. 166-167.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса) : http://repo.ssau.ru/handle/LXXII-MOLODEZhNAYa-NAUChNAYa-KONFERENCIYa/Opticheskie-svoistva-sloev-karbida-kremniya-poluchaemyh-metodom-magnetronnogo-raspyleniya-100871
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\510140
Ключевые слова: карбид кремния
радиоэлектрический эффект
оптические параметры
спектр отражения
Располагается в коллекциях: LXXII МОЛОДЁЖНАЯ НАУЧНАЯ КОНФЕРЕНЦИЯ

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
978-5-7883-1820-2_2022-166-167.pdf577.19 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.