Репозиторий Самарского университета

Отрывок: Использование твердых полимеров в качестве основы диф­ ракционного синтеза обеспечивает более высокие скорости травления по сравнению с традиционными материалами (алмазоподобные пленки, диоксид кремния), что позволяет значительно расширить номенклатуру формируемых ДОЭ. При этом полимерное покрытие может быть нанесено на любую твердую основу, его толщина легко контролируется технически, а высокая степень адгезии осаждаемой пленки достигается обеспечением требуемой чистоты поверхн...

Название :	Разработка методов изготовления дифракционных оптических элементов на полимерных материалах в направленных потоках низкотемпературной плазмы
Авторы/Редакторы :	Паранин В. Д. Колпаков В. А.
Дата публикации :	2007
Библиографическое описание :	Паранин, В. Д. Разработка методов изготовления дифракционных оптических элементов на полимерных материалах в направленных потоках низкотемпературной плазмы / В. Д. Паранин, В. А. Колпаков // IX Королевские чтения : Всерос. молодеж. науч. конф. с междунар. участием, посвящ. 100-летию акад. С. П. Королева, 65-летию КуАИ-СГАУ и 50-летию со дня запуска первого искусств. спутника Земли : тез. докл., 1-3 окт. 2007 г. / Федер. агентство по образованию, Правительство Самар. обл., М-во образования и науки Самар. обл., Самар. науч. центр Рос. акад. наук, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева, Гос. науч.-произв. ракет.-косм. центр "ЦСКБ - Прогресс" ; [науч. ред. И. В. Белоконов]. - Самара : Изд-во СГАУ, 2007. - С. 303.
Другие идентификаторы :	RU\НТБ СГАУ\481133
Ключевые слова:	аналитические методы расчета формирование прецизионного микрорельефа инновационные научные разработки качество изготовления дифракционные оптические элементы молодежные научно-инновационные проекты низкотемпературная плазма параметры технологических процессов полимерные материалы плазменное травление
Располагается в коллекциях:	Королевские чтения

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.