Отрывок: Использование твердых полимеров в качестве основы диф­ ракционного синтеза обеспечивает более высокие скорости травления по сравнению с традиционными материалами (алмазоподобные пленки, диоксид кремния), что позволяет значительно расширить номенклатуру формируемых ДОЭ. При этом полимерное покрытие может быть нанесено на любую твердую основу, его толщина легко контролируется технически, а высокая степень адгезии осаждаемой пленки достигается обеспечением требуемой чистоты поверхн...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorПаранин В. Д.ru
dc.contributor.authorКолпаков В. А.ru
dc.coverage.spatialаналитические методы расчетаru
dc.coverage.spatialформирование прецизионного микрорельефаru
dc.coverage.spatialинновационные научные разработкиru
dc.coverage.spatialкачество изготовленияru
dc.coverage.spatialдифракционные оптические элементыru
dc.coverage.spatialмолодежные научно-инновационные проектыru
dc.coverage.spatialнизкотемпературная плазмаru
dc.coverage.spatialпараметры технологических процессовru
dc.coverage.spatialполимерные материалыru
dc.coverage.spatialплазменное травлениеru
dc.creatorПаранин В. Д., Колпаков В. А.ru
dc.date.issued2007ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\481133ru
dc.identifier.citationПаранин, В. Д. Разработка методов изготовления дифракционных оптических элементов на полимерных материалах в направленных потоках низкотемпературной плазмы / В. Д. Паранин, В. А. Колпаков // IX Королевские чтения : Всерос. молодеж. науч. конф. с междунар. участием, посвящ. 100-летию акад. С. П. Королева, 65-летию КуАИ-СГАУ и 50-летию со дня запуска первого искусств. спутника Земли : тез. докл., 1-3 окт. 2007 г. / Федер. агентство по образованию, Правительство Самар. обл., М-во образования и науки Самар. обл., Самар. науч. центр Рос. акад. наук, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева, Гос. науч.-произв. ракет.-косм. центр "ЦСКБ - Прогресс" ; [науч. ред. И. В. Белоконов]. - Самара : Изд-во СГАУ, 2007. - С. 303.ru
dc.language.isorusru
dc.sourceIX Королевские чтения : Всерос. молодеж. науч. конф. с междунар. участием, посвящ. 100-летию акад. С. П. Королева, 65-летию КуАИ-СГАУ и 50-летию со дня запуска первого искусств. спутника Земли : тез. докл., 1-3 окт. 2007 г. - Текст : электронныйru
dc.titleРазработка методов изготовления дифракционных оптических элементов на полимерных материалах в направленных потоках низкотемпературной плазмыru
dc.typeTextru
dc.citation.spage303ru
dc.textpartИспользование твердых полимеров в качестве основы диф­ ракционного синтеза обеспечивает более высокие скорости травления по сравнению с традиционными материалами (алмазоподобные пленки, диоксид кремния), что позволяет значительно расширить номенклатуру формируемых ДОЭ. При этом полимерное покрытие может быть нанесено на любую твердую основу, его толщина легко контролируется технически, а высокая степень адгезии осаждаемой пленки достигается обеспечением требуемой чистоты поверхн...-
Располагается в коллекциях: Королевские чтения

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
978-5-7883-0531-8_2007-303.pdf55.97 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.