Отрывок: Были расчитаны модельные спектры дифракции от контрольных структур, изготовленных путем травления окиси кремния, нанесен ного па подложку из монокремния, запыленных металлом для выравнивания их оптических характеристик. А затем сняты 105 экспериментальные спектры. Полученные результаты неплохо согласуются друг с другом. Обнаружены порядки дифракции, несущие информацию о характере профиля ЭТ. ВЫБОР ОПТИМАЛЬНОЙ МОДЕЛИ ОБЪЕКТА ДЛН ИССЛЕДОВАНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКО...
Название : | Определение профиля элементов топологии микроэлектронных структур по анализу углового спектра излучения, дифрагировавшего на периодической структуре |
Авторы/Редакторы : | Давыдов Е. В. Копылов С. С. Сигал Е. Л. Беклемишев И. Л. Истомина Н. Л. |
Дата публикации : | 1995 |
Библиографическое описание : | Давыдов, Е. В. Определение профиля элементов топологии микроэлектронных структур по анализу углового спектра излучения, дифрагировавшего на периодической структуре / Е. В. Давыдов, С. С. Копылов, Е. Л. Сигал ; науч. руководители И. Л. Беклемишев, Н. Л. Истомина // Королевские чтения : всерос. студ. науч. конф. : тез. докл., [Самара, 4-5 окт. 1995г.] / Гос. ком. Рос. Федерации по высш. образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; ред. В. Г. Шахов. - Самара : [СГАУ], 1995. - С. 104-105. |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\533903 |
Ключевые слова: | элементы топологии микроэлектронные структуры топология микроэлектронных структур угловой спектр излучения |
Располагается в коллекциях: | Королевские чтения |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Стр.-104-105.pdf | 75.31 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.