Репозиторий Самарского университета

Отрывок: Были расчитаны модельные спектры дифракции от контрольных структур, изготовленных путем травления окиси кремния, нанесен­ ного па подложку из монокремния, запыленных металлом для выравнивания их оптических характеристик. А затем сняты 105 экспериментальные спектры. Полученные результаты неплохо согласуются друг с другом. Обнаружены порядки дифракции, несущие информацию о характере профиля ЭТ. ВЫБОР ОПТИМАЛЬНОЙ МОДЕЛИ ОБЪЕКТА ДЛН ИССЛЕДОВАНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКО...

Название :	Определение профиля элементов топологии микроэлектронных структур по анализу углового спектра излучения, дифрагировавшего на периодической структуре
Авторы/Редакторы :	Давыдов Е. В. Копылов С. С. Сигал Е. Л. Беклемишев И. Л. Истомина Н. Л.
Дата публикации :	1995
Библиографическое описание :	Давыдов, Е. В. Определение профиля элементов топологии микроэлектронных структур по анализу углового спектра излучения, дифрагировавшего на периодической структуре / Е. В. Давыдов, С. С. Копылов, Е. Л. Сигал ; науч. руководители И. Л. Беклемишев, Н. Л. Истомина // Королевские чтения : всерос. студ. науч. конф. : тез. докл., [Самара, 4-5 окт. 1995г.] / Гос. ком. Рос. Федерации по высш. образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; ред. В. Г. Шахов. - Самара : [СГАУ], 1995. - С. 104-105.
Другие идентификаторы :	RU\НТБ СГАУ\533903
Ключевые слова:	элементы топологии микроэлектронные структуры топология микроэлектронных структур угловой спектр излучения
Располагается в коллекциях:	Королевские чтения

Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.