Отрывок: Были расчитаны модельные спектры дифракции от контрольных структур, изготовленных путем травления окиси кремния, нанесен­ ного па подложку из монокремния, запыленных металлом для выравнивания их оптических характеристик. А затем сняты 105 экспериментальные спектры. Полученные результаты неплохо согласуются друг с другом. Обнаружены порядки дифракции, несущие информацию о характере профиля ЭТ. ВЫБОР ОПТИМАЛЬНОЙ МОДЕЛИ ОБЪЕКТА ДЛН ИССЛЕДОВАНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКО...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorДавыдов Е. В.ru
dc.contributor.authorКопылов С. С.ru
dc.contributor.authorСигал Е. Л.ru
dc.contributor.authorБеклемишев И. Л.ru
dc.contributor.authorИстомина Н. Л.ru
dc.coverage.spatialэлементы топологииru
dc.coverage.spatialмикроэлектронные структурыru
dc.coverage.spatialтопология микроэлектронных структурru
dc.coverage.spatialугловой спектр излученияru
dc.creatorДавыдов Е. В., Копылов С. С., Сигал Е. Л.ru
dc.date.issued1995ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\533903ru
dc.identifier.citationДавыдов, Е. В. Определение профиля элементов топологии микроэлектронных структур по анализу углового спектра излучения, дифрагировавшего на периодической структуре / Е. В. Давыдов, С. С. Копылов, Е. Л. Сигал ; науч. руководители И. Л. Беклемишев, Н. Л. Истомина // Королевские чтения : всерос. студ. науч. конф. : тез. докл., [Самара, 4-5 окт. 1995г.] / Гос. ком. Рос. Федерации по высш. образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; ред. В. Г. Шахов. - Самара : [СГАУ], 1995. - С. 104-105.ru
dc.sourceКоролевские чтения : всерос. студ. науч. конф : тез. докл., [Самара, 4-5 окт. 1995г.]. - Текст : электронныйru
dc.titleОпределение профиля элементов топологии микроэлектронных структур по анализу углового спектра излучения, дифрагировавшего на периодической структуреru
dc.typeTextru
dc.citation.epage105ru
dc.citation.spage104ru
dc.textpartБыли расчитаны модельные спектры дифракции от контрольных структур, изготовленных путем травления окиси кремния, нанесен­ ного па подложку из монокремния, запыленных металлом для выравнивания их оптических характеристик. А затем сняты 105 экспериментальные спектры. Полученные результаты неплохо согласуются друг с другом. Обнаружены порядки дифракции, несущие информацию о характере профиля ЭТ. ВЫБОР ОПТИМАЛЬНОЙ МОДЕЛИ ОБЪЕКТА ДЛН ИССЛЕДОВАНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКО...-
Располагается в коллекциях: Королевские чтения

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Стр.-104-105.pdf75.31 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.