Отрывок: Проведены исследования по облучению ТПР в различных газах (аргон, воздух, кислород). Разработана технология ионно-электронно го отжига ТПР, позволяющая значительно уменьшить время процесса 108 109 отжига ТПР, осуществлять корректировку сопротивления до ±25$, уменьшить ТКС до 0,5.ГО-5 1/°С, уменьшить разброс значений сопро тивлений, изготавливаемых на одной подложке. РАЗРАБОТКА ПРОГРАММ РАСЧЕТА КОНСТРУКТИВНЫХ ПАРАМЕТРОВ ПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ МИКРОСХЕМ НА ПРОГРАММ...
Название : | Исследование влияния ионно-электронного отжига на электрические параметры тонкопленочных резисторов |
Авторы/Редакторы : | Гусенков В. А. Кричевский С. В. |
Дата публикации : | 1995 |
Библиографическое описание : | Гусенков, В. А. Исследование влияния ионно-электронного отжига на электрические параметры тонкопленочных резисторов / В. А. Гусенков ; науч. руководитель С. В. Кричевский // Королевские чтения : всерос. студ. науч. конф. : тез. докл., [Самара, 4-5 окт. 1995г.] / Гос. ком. Рос. Федерации по высш. образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; ред. В. Г. Шахов. - Самара : [СГАУ], 1995. - С. 108-109. |
Другие идентификаторы : | RU\НТБ СГАУ\533917 |
Ключевые слова: | электрические параметры тонкопленочных резисторов ионно-электронный отжиг ионно-электронные потоки тонкопленочные резисторы |
Располагается в коллекциях: | Королевские чтения |
Файлы этого ресурса:
Файл | Размер | Формат | |
---|---|---|---|
Стр.-108-109.pdf | 70.96 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Показать полное описание ресурса
Просмотр статистики
Поделиться:
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.