Отрывок: В . Г о л о д н о е Научный руководитель - зав.уч.лаб. Крмчевекий С.В. Самарский государственный аэрокосмический университет Предложено для увеличения адгезии пленок производить их отжиг ионно-электронным потоком. В качестве технологического инс­ трумента использовалась газоразрядная пушка высоковольтного типа. Основные параметры пушки: ток луча 0,2-200 мА, ускоряющее напря­ жение на электродах 0,8-5 кВ, время непрерывной работы...
Название : Исследование влияния ионно-электронного отжига на адгезию тонкопленочных резисторов
Авторы/Редакторы : Голоднов М. В.
Кричевский С. В.
Дата публикации : 1995
Библиографическое описание : Голоднов, М. В. Исследование влияния ионно-электронного отжига на адгезию тонкопленочных резисторов / М. В. Голоднов ; науч. руководитель С. В. Кричевский // Королевские чтения : всерос. студ. науч. конф. : тез. докл., [Самара, 4-5 окт. 1995г.] / Гос. ком. Рос. Федерации по высш. образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; ред. В. Г. Шахов. - Самара : [СГАУ], 1995. - С. 107.
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\533915
Ключевые слова: адгезия тонкопленочных резисторов
ионно-электронный отжиг
тонкопленочные резисторы
Располагается в коллекциях: Королевские чтения

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Стр.-107_1.pdf46.15 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.