Отрывок: В . Г о л о д н о е Научный руководитель - зав.уч.лаб. Крмчевекий С.В. Самарский государственный аэрокосмический университет Предложено для увеличения адгезии пленок производить их отжиг ионно-электронным потоком. В качестве технологического инс­ трумента использовалась газоразрядная пушка высоковольтного типа. Основные параметры пушки: ток луча 0,2-200 мА, ускоряющее напря­ жение на электродах 0,8-5 кВ, время непрерывной работы...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorГолоднов М. В.ru
dc.contributor.authorКричевский С. В.ru
dc.coverage.spatialадгезия тонкопленочных резисторовru
dc.coverage.spatialионно-электронный отжигru
dc.coverage.spatialтонкопленочные резисторыru
dc.creatorГолоднов М. В.ru
dc.date.issued1995ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\533915ru
dc.identifier.citationГолоднов, М. В. Исследование влияния ионно-электронного отжига на адгезию тонкопленочных резисторов / М. В. Голоднов ; науч. руководитель С. В. Кричевский // Королевские чтения : всерос. студ. науч. конф. : тез. докл., [Самара, 4-5 окт. 1995г.] / Гос. ком. Рос. Федерации по высш. образованию, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева ; ред. В. Г. Шахов. - Самара : [СГАУ], 1995. - С. 107.ru
dc.sourceКоролевские чтения : всерос. студ. науч. конф : тез. докл., [Самара, 4-5 окт. 1995г.]. - Текст : электронныйru
dc.titleИсследование влияния ионно-электронного отжига на адгезию тонкопленочных резисторовru
dc.typeTextru
dc.citation.spage107ru
dc.textpartВ . Г о л о д н о е Научный руководитель - зав.уч.лаб. Крмчевекий С.В. Самарский государственный аэрокосмический университет Предложено для увеличения адгезии пленок производить их отжиг ионно-электронным потоком. В качестве технологического инс­ трумента использовалась газоразрядная пушка высоковольтного типа. Основные параметры пушки: ток луча 0,2-200 мА, ускоряющее напря­ жение на электродах 0,8-5 кВ, время непрерывной работы...-
Располагается в коллекциях: Королевские чтения

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
Стр.-107_1.pdf46.15 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.