Отрывок: Подставляя М = 44,82-10~27 кг и U = 3,6 кВ, а также массы для электрона те =9,1-10~31 кг и иона кислорода т,= 26,5 -10-27 кг, получим, соответственно, АД = 0,23 эВ и АД = 3,3 кэВ. Энергия активации «вакансий» составляет 0,8-0,9 эВ, т.е. энергии частиц плазмы вполне достаточно для образования потока «вакансий». Показана возможность формирования каталитич...
Название : Исследование механизма диффузии атомов кремния в жидкой фазе алюминия при облучении структуры Al-Si направленным потоком низкотемпературной плазмы
Авторы/Редакторы : Мокеев Д. А.
Колпаков А. И.
Дата публикации : 2007
Библиографическое описание : Мокеев, Д. А. Исследование механизма диффузии атомов кремния в жидкой фазе алюминия при облучении структуры Al-Si направленным потоком низкотемпературной плазмы / Д. А. Мокеев, А. И. Колпаков // IX Королевские чтения : Всерос. молодеж. науч. конф. с междунар. участием, посвящ. 100-летию акад. С. П. Королева, 65-летию КуАИ-СГАУ и 50-летию со дня запуска первого искусств. спутника Земли : тез. докл., 1-3 окт. 2007 г. / Федер. агентство по образованию, Правительство Самар. обл., М-во образования и науки Самар. обл., Самар. науч. центр Рос. акад. наук, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева, Гос. науч.-произв. ракет.-косм. центр "ЦСКБ - Прогресс" ; [науч. ред. И. В. Белоконов]. - Самара : Изд-во СГАУ, 2007. - С. 200.
Другие идентификаторы : RU\НТБ СГАУ\480348
Ключевые слова: облучение ионно-электронным потоком
газовые разряды высоковольтного типа
дифракционные оптические элементы
механизм диффузии атомов кремния
кремниевые подложки
формирование каталитической маски
технологические процессы
система жидкий алюминий - кремний
Располагается в коллекциях: Королевские чтения

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
978-5-7883-0531-8_2007-200.pdf56.75 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.