Отрывок: Подставляя М = 44,82-10~27 кг и U = 3,6 кВ, а также массы для электрона те =9,1-10~31 кг и иона кислорода т,= 26,5 -10-27 кг, получим, соответственно, АД = 0,23 эВ и АД = 3,3 кэВ. Энергия активации «вакансий» составляет 0,8-0,9 эВ, т.е. энергии частиц плазмы вполне достаточно для образования потока «вакансий». Показана возможность формирования каталитич...
Полная запись метаданных
Поле DC Значение Язык
dc.contributor.authorМокеев Д. А.ru
dc.contributor.authorКолпаков А. И.ru
dc.coverage.spatialоблучение ионно-электронным потокомru
dc.coverage.spatialгазовые разряды высоковольтного типаru
dc.coverage.spatialдифракционные оптические элементыru
dc.coverage.spatialмеханизм диффузии атомов кремнияru
dc.coverage.spatialкремниевые подложкиru
dc.coverage.spatialформирование каталитической маскиru
dc.coverage.spatialтехнологические процессыru
dc.coverage.spatialсистема жидкий алюминий - кремнийru
dc.creatorМокеев Д. А., Колпаков А. И.ru
dc.date.issued2007ru
dc.identifierRU\НТБ СГАУ\480348ru
dc.identifier.citationМокеев, Д. А. Исследование механизма диффузии атомов кремния в жидкой фазе алюминия при облучении структуры Al-Si направленным потоком низкотемпературной плазмы / Д. А. Мокеев, А. И. Колпаков // IX Королевские чтения : Всерос. молодеж. науч. конф. с междунар. участием, посвящ. 100-летию акад. С. П. Королева, 65-летию КуАИ-СГАУ и 50-летию со дня запуска первого искусств. спутника Земли : тез. докл., 1-3 окт. 2007 г. / Федер. агентство по образованию, Правительство Самар. обл., М-во образования и науки Самар. обл., Самар. науч. центр Рос. акад. наук, Самар. гос. аэрокосм. ун-т им. С. П. Королева, Гос. науч.-произв. ракет.-косм. центр "ЦСКБ - Прогресс" ; [науч. ред. И. В. Белоконов]. - Самара : Изд-во СГАУ, 2007. - С. 200.ru
dc.language.isorusru
dc.sourceIX Королевские чтения : Всерос. молодеж. науч. конф. с междунар. участием, посвящ. 100-летию акад. С. П. Королева, 65-летию КуАИ-СГАУ и 50-летию со дня запуска первого искусств. спутника Земли : тез. докл., 1-3 окт. 2007 г. - Текст : электронныйru
dc.titleИсследование механизма диффузии атомов кремния в жидкой фазе алюминия при облучении структуры Al-Si направленным потоком низкотемпературной плазмыru
dc.typeTextru
dc.citation.spage200ru
dc.textpartПодставляя М = 44,82-10~27 кг и U = 3,6 кВ, а также массы для электрона те =9,1-10~31 кг и иона кислорода т,= 26,5 -10-27 кг, получим, соответственно, АД = 0,23 эВ и АД = 3,3 кэВ. Энергия активации «вакансий» составляет 0,8-0,9 эВ, т.е. энергии частиц плазмы вполне достаточно для образования потока «вакансий». Показана возможность формирования каталитич...-
Располагается в коллекциях: Королевские чтения

Файлы этого ресурса:
Файл Размер Формат  
978-5-7883-0531-8_2007-200.pdf56.75 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики
Поделиться:



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.